[发明专利]邻近曝光装置、载台温度控制方法及面板基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在液晶显示器(display)装置等的显示用面板(panel)基板的制造中，使用邻近(proximity)方式来进行基板的曝光的邻近曝光装置、邻近曝光装置的载台温度控制方法以及使用这些装置和方法的显示用面板基板的制造方法，尤其是涉及一种通过线性马达(linear motor)来驱动用来移动基板的载台的邻近曝光装置、邻近曝光装置的载台温度控制方法以及使用这些装置和方法的显示用面板基板的制造方法。

背景技术

用作显示用面板的液晶显示器装置的薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，TFT)基板或彩色滤光器(color filter)基板、等离子体(plasma)显示器面板用基板、有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示面板用基板等的制造是使用曝光装置，通过光刻(photolithography)技术在基板上形成图案(pattern)而进行。作为曝光装置，有使用透镜(lens)或镜子来将罩幕层(mask)的图案投影到基板上的投影(projection)方式、以及在罩幕层与基板之间设置微小的间隙(邻近间隙(proximitygap))而将罩幕层的图案转印到基板上的邻近方式。与投影方式相比，邻近方式的图案析象性能较差，但是照射光学系统的结构简单，且处理能力高，适合于量产用途。

近年来，在显示用面板的各种基板的制造中，为了对应于大型化以及尺寸的多样化，须准备相对较大的基板，并根据显示用面板的尺寸来从1片基板中制造出1片或多片显示用面板基板。此时，对于邻近方式而言，如果要包括曝光基板的一面，则需要与基板相同大小的罩幕层，从而导致高价的罩幕层成本(cost)进一步增大。因此，使用相对于基板较小的罩幕层，通过载台来使基板向XY方向步进移动，将基板的一面分成多次照射(shot)来进行曝光的方式成为主流。

以往，在邻近曝光装置中，对于载台的驱动使用滚珠螺杆(ball screw)等的进给螺杆。但是，随着显示用面板的大画面化，基板越大型化，要让基板的移动高速且高精度地进行的要求越强烈，而以往的载台对于移动基板的速度以及精度的提高有限。

作为取代进给螺杆的机构，开发出了一种使用内置有磁铁或线圈(coil)的定子和内置有线圈或磁铁的转子的线性马达。定子与转子被设置成隔着微小的间隙而不接触，当电流流经线圈时，根据弗莱明左手定则(Fleming′s left-hand rule)，由线圈的电流与磁铁的磁场对转子产生推力(洛伦兹力(Lorentz force))。由于定子与转子为非接触而无摩擦，因此可实现高速且高精度的移动。作为使用此种线性马达的邻近曝光装置，在专利文献1以及专利文献2中有所记载。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2009-258195号公报

[专利文献2]日本专利特开2009-258196号公报

在邻近曝光装置中，当通过线性马达来驱动移动基板的载台时，载台的重量会变大而移动距离也变长，因此线性马达的负载大，从线性马达产生大量的热。因此，在通常的运转时与停止基板的供给而停止载台的移动时，载台的温度会发生较大变化。一旦载台的温度发生较大变化，则因热膨胀引起的载台的变形量会发生较大变化，因此由载台所移动的基板的位置以及相对于水平方向的斜度会发生变动，从而存在图案的烧附精度下降的问题。

由此可见，上述现有技术在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型结构的邻近曝光装置、载台温度控制方法及面板基板的制造方法，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有技术存在的缺陷，而提供一种新型结构的邻近曝光装置、载台温度控制方法，所要解决的技术问题是使其在邻近曝光装置中，当通过线性马达来驱动用来移动基板的载台时，可减小载台的温度变化，以精度良好地进行图案的烧附，非常适于实用。

本发明的目的在于，克服现有技术存在的缺陷，而提供一种新型结构的面板基板的制造方法，所要解决的技术问题是使其精度良好地进行图案的烧附，从而制造高品质的显示用面板基板。