[发明专利]可移动反射镜的支撑结构、减小可移动反射镜的倾斜的方法以及干涉仪

权利要求书

1.一种用于干涉仪的可移动反射镜的支撑结构，所述支撑结构包括：

-固定框架(11)，

-可移动框架(12)，所述可移动反射镜(42)布置成能够连结到该可移动框架上，以及

-至少两个柔性部件(13)，所述部件(13)的第一端部紧固到所述固定框架(11)上，所述部件(13)的第二端部紧固到所述可移动框架(12)上，使得在每个柔性部件(13)的固定点之间的距离基本上相同，并且在所述第一端部的固定点之间的距离基本上等于在所述第二端部的固定点之间的距离；

其特征在于，所述支撑结构包括支撑部件(16)，所述支撑部件(16)连结到至少两个柔性部件(13)的至少一侧上。

2.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括紧固板(14)，所述紧固板(14)用来将所述柔性部件(13)紧固到所述固定框架(11)和所述可移动框架(12)的端部上。

3.根据权利要求1或2所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括的支撑部件(16)连结到至少两个柔性部件(13)的两侧上。

4.根据权利要求1-3任一项所述的支撑结构，其特征在于，所述柔性部件(13)包括相邻的带条(17)。

5.根据以上权利要求中的任一项所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑部件(16)的形状是矩形的和平面形的。

6.根据以上权利要求中的任一项所述的支撑结构，其特征在于，每个支撑部件(16)相对于所述柔性部件(13)的固定点大致居中。

7.根据以上权利要求中的任一项所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑部件(16)的长度是在所述柔性部件(13)的固定点之间的距离的至少百分之60。

8.根据以上权利要求中的任一项所述的支撑结构，其特征在于，所述柔性部件(13)和所述支撑部件(16)由相同材料制造。

9.根据权利要求8所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑部件(16)是与柔性部件(13)成一体的部分。

10.一种干涉仪，包括：

-光源(21)，用来发射光，

-可移动反射镜(42)，连结到可移动框架(12)上，该可移动框架(12)由至少两个柔性部件(13)连接到固定框架(11)上，所述部件(13)的第一端部紧固到所述固定框架(11)上，所述部件(13)的第二端部紧固到所述可移动框架(12)上，使得在每个柔性部件(13)的固定点之间的距离基本上相同，并且在所述第一端部的固定点之间的距离基本上等于在所述第二端部的固定点之间的距离，

-基准反射镜(41)，以及

-分光镜(31)，用来向着所述可移动反射镜(42)和所述基准反射镜(41)分离从所述光源(21)接收的光，并且用来分离从所述可移动反射镜(42)和从所述基准反射镜(41)反射的光；

其特征在于，所述干涉仪包括支撑部件(16)，所述支撑部件(16)连结到至少两个柔性部件(13)的至少一侧上。

11.根据权利要求10所述的干涉仪，其特征在于，所述干涉仪包括用来移动所述可移动框架(12)的驱动装置(61)。

12.一种用来减小干涉仪的可移动反射镜的倾斜的方法，所述可移动反射镜(42)连结到可移动框架(12)上，该可移动框架(12)由至少两个柔性部件(13)连接到固定框架(11)上，所述部件(13)的第一端部紧固到所述固定框架(11)上，所述部件(13)的第二端部紧固到所述可移动框架(12)上，使得在每个柔性部件(13)的固定点之间的距离基本上相同，并且在所述第一端部的固定点之间的距离基本上等于在所述第二端部的固定点之间的距离，其特征在于，所述方法包括：在所述柔性部件(13)的纵向方向上对于在所述柔性部件(13)的固定点之间的距离的至少百分之60的长度，在结构上加固所述柔性部件(13)。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述加固通过将支撑部件(16)连结到至少两个柔性部件(13)的至少一侧上而实现。