[发明专利]一种化学溶液沉积快速制备GdBCO薄膜的方法

权利要求书

1.一种化学溶液沉积快速制备GdBCO薄膜的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(1)制备GdBCO前驱液：将乙酸钆、三氟乙酸钡和苯甲酸铜按Gd∶Ba∶Cu＝1∶2∶3的原子比溶解于甲醇中，然后进行减压蒸馏去除杂质水，再加入螯合剂，最后用甲醇定溶得到GdBCO前驱液；所述螯合剂为乙醇胺或三乙醇胺，螯合剂的加入量为铜离子摩尔量的3～5倍，所述GdBCO前驱液中钆、钡和铜金属离子的总浓度为1mol/L～1.5mol/L；

(2)前驱液涂覆：采用旋涂法或浸涂法将步骤(1)中所述GdBCO前驱液均匀涂覆于铝酸镧单晶衬底，然后在温度为120℃～150℃条件下干燥，得到表面附着1μm～2μm固化膜的铝酸镧单晶衬底；或者采用旋涂法或浸涂法将步骤(1)中所述GdBCO前驱液均匀涂覆于NiW/Y₂O₃/YSZ/CeO₂缓冲层上，然后在温度为120℃～150℃条件下干燥，得到表面附着1μm～2μm固化膜的NiW/Y₂O₃/YSZ/CeO₂缓冲层；

(3)高温热处理：将步骤(2)中所述表面附着固化膜的铝酸镧单晶衬底或表面附着固化膜的NiW/Y₂O₃/YSZ/CeO₂缓冲层置于管式炉中进行高温热处理，随炉冷却得到GdBCO薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种化学溶液沉积快速制备GdBCO薄膜的方法，其特征在于，步骤(3)中所述高温热处理的过程为：以10℃/min～25℃/min的速率升温，气氛为流动的氩氧混合气氛，气体流速控制为10mm/s～30mm/s，在温度高于400℃时引入水汽，水汽分压控制为3.1％，升温至770℃～830℃时恒温1h～3h；然后在干燥的氩氧混合气氛中降温至525℃时，将氩氧混合气氛更换为干燥的氧气氛，当温度降至450℃时恒温3h进行渗氧处理；所述氩氧混合气氛中氧气含量为180ppm，余量为氩气。