[发明专利]一种硅片切割废砂浆无公害资源化处理的方法

权利要求书

1.一种硅片切割废砂浆无公害资源化处理的方法，其特征是包括如下步骤：

1)将硅片切割废砂浆固液分离，得到液相和固相，所述硅片切割废砂浆的成份包括小颗粒碳化硅、小颗粒硅粉及金属颗粒等固相，以及聚乙二醇、pH缓冲剂、缓蚀剂、螯合剂和水；

2)将步骤1)所得液相经过滤设备进行过滤，得到回收液和滤渣；

3)对步骤2)所得回收液，测定其pH值及水分含量；

4)在20-100℃温度条件下对步骤2)所得回收液添加pH缓冲剂及去离子水后混合搅拌，以使回收液含水量控制在30％-70％，pH值控制在7.5-9.5；

5)在20-100℃温度条件下，对步骤4)所得回收液，每1kg回收液中添加亚甲基蓝着色剂0.02-0.2g，以及耐热稳定剂水杨酸盐0.1-2g或乙酰水杨酸盐0.2-3g或间二羟基苯基酸盐0.1-2.5g或五倍子酸盐0.1-2g，并混合搅拌；

6)对步骤5)所得混合液经过滤精度0.5μm-1μm的过滤设备过滤，取过滤液。

2.根据权利要求1所述方法，其特征是对所述步骤1)中固液分离得到的固相加入去离子水稀释并搅拌，然后过滤，将得到的滤液混入步骤1)中固液分离得到的液相。

3.根据权利要求1所述方法，其特征是步骤1)所述固液分离步骤采用固液分离设备为压滤机、离心沉降机、真空过滤机或离心过滤机中的一种或几种的组合。

4.根据权利要求1所述方法，其特征是步骤2)所述过滤设备的过滤精度为1μm-3μm。

5.根据权利要求1所述方法，其特征是步骤1)所加pH缓冲剂为对羟基苯甲酸或其邻间位异构体、2，6位二羟基苯甲酸或2，4位二羟基苯甲酸中的一种或几种的混合物。

6.根据权利要求1所述方法，其特征是所述步骤4)混合搅拌在30-80℃温度条件下进行。

7.根据权利要求1所述方法，其特征是所述步骤5)混合搅拌在30-80℃温度条件下进行。