[发明专利]温度自补偿式光纤液位传感器

权利要求书

1.一种温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述温度补偿式光纤液位传感器由缓冲圆柱体(1)、传感圆柱体(4)、温度补偿圆柱体(10)、四根温度传感光纤(7)和一根压力传感光纤(9)组成，并顺序粘接在一起。所述缓冲、传感、温度补偿圆柱体(1、4、10)都设有能够与所述光纤构成光学谐振，可以感应外界压力或者温度变化的腔体。

2.根据权利要求1的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述的缓冲圆柱体(1)的腔体包括均布于缓冲圆柱体(1)上表面的四个缓冲孔(2)和位于缓冲圆柱体(1)下表面中央的一个圆柱形缓冲腔(3)，且四个缓冲孔(2)与圆柱形缓冲腔(3)连通。

3.根据权利要求1的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述的传感圆柱体(4)的上下表面分别设有上圆柱形腔(12)和下圆柱形腔(5)，下圆柱形腔(5)的深度为18um；下圆柱形腔(5)和上圆柱形腔(12)之间为一层弹性膜(11)，弹性膜的厚度为100um，半径为500um，且上述压力传感光纤(9)伸入下圆柱形腔中。

4.根据权利要求3的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述的温度补偿圆柱体(10)的上表面设有圆柱形腔体(6)，且圆柱形腔体的数量为4个，均布于温度补偿圆柱体的上表面，腔体的深度为18um，上述4根温度传感光纤(7)分别伸入圆柱形腔体中。

5.根据权利要求2的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：四个缓冲孔(2)的上半部为圆柱形，下半部为圆台形状。

6.根据权利要求1的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述的四根温度检测光纤(7)和一根压力检测光纤(9)均为单模石英光纤。

7.根据权利要求1的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述的缓冲圆柱体(1)、传感圆柱体(4)和温度补偿圆柱体(10)的制作材料均为单晶硅。

8.根据权利要求4的温度自补偿式光纤液位传感器，其特征在于：所述的温度补偿圆柱体设有有下圆柱形腔排气孔(81)和圆柱形腔体排气孔(82)，下圆柱形腔排气孔与外界大气和传感圆柱体(4)的下圆柱形腔(5)连通，圆柱形腔体排气孔有4个，均布在温度补偿圆柱体上表面，且与外界大气和温度补偿圆柱体(10)的圆柱形腔体(6)连通。