[发明专利]离子注入设备无效
| 申请号： | 201110049448.9 | 申请日： | 2011-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102655072A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 陈炯;钱锋 | 申请（专利权）人： | 上海凯世通半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 薛琦;朱水平 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入设备，其包括一离子源系统、一磁铁系统以及工件，该磁铁系统用于偏转由该离子源系统生成的离子束以从中筛选出具有预设荷质比的离子束，筛选出的该离子束沿竖直向下的传输方向注入工件，其特征在于，该离子注入设备还包括：一设于该磁铁系统与工件之间的电极系统，该电极系统用于将筛选出的该离子束偏转为竖直向下传输。
2.如权利要求1所述的离子注入设备，其特征在于，该电极系统用于将筛选出的该离子束偏转10°～90°。
3.如权利要求1或2所述的离子注入设备，其特征在于，该电极系统还用于使筛选出的该离子束加速或减速。
4.如权利要求1所述的离子注入设备，其特征在于，所述工件为太阳能晶片。
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