[发明专利]三氯硅烷制造装置及制造方法

权利要求书

1.一种三氯硅烷制造装置，从包含四氯化硅和氢的原料气体制造三氯硅烷，其特征在于，具备：

反应室，被供给所述原料气体并生成包含三氯硅烷和氯化氢等的反应气体；

多个加热器，在所述反应室内沿上下方向设置，对所述原料气体进行加热；以及

多个电极，与这些加热器的基端部连接，

各所述加热器具备：第一加热器，以通过来自所述电极的通电而进行发热的发热部构成；以及第二加热器，在比第一加热器的发热部短的发热部的上端或者下端连接有由非发热部构成的辐射板，

所述第一加热器的发热部的一部分和所述第二加热器的辐射板被相向配置，

在所述反应室中，在所述第二加热器的发热部和辐射板中的所述第二加热器的发热部被配置的一侧具备所述原料气体的导入口，在所述第二加热器的辐射板被配置的一侧具备所述反应气体的导出口。

2.根据权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，所述辐射板形成为所述第一加热器的发热部的长度的2/3～1/4的长度。

3.根据权利要求1或2所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，所述多个加热器通过多个第一加热器列和第二加热器列构成，其中，所述多个第一加热器列仅以所述第一加热器构成，所述第二加热器列被该第一加热器列夹着而设置，在其一部分或者全部中包含所述第二加热器。

4.根据权利要求1或2所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，所述多个加热器在所述反应室内呈同心圆状地设置3列以上，在除了最内列及最外列之外的任一列中设置有第二加热器列。

5.根据权利要求1或2 所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，在所述反应室内在所述反应室下部或者底部配置有导入所述原料气体的导入口，在所述反应室的下部配置有连接所述加热器和所述电极的所述加热器的基端部，在所述反应室的上部配置有所述第二加热器的辐射板、和将所述原料气体向所述反应室外导出的导出口。

6.一种三氯硅烷制造方法，通过对反应室内供给包含四氯化硅和氢的原料气体，并且对在所述反应室内沿上下方向设置的多个加热器进行通电使其发热，对三氯硅烷进行制造，其特征在于，

以第一加热器和第二加热器构成所述加热器，所述第一加热器由通过来自在所述加热器的基端部设置的电极的通电而进行发热的发热部构成，所述第二加热器在比通过来自所述电极的通电而进行发热的第一加热器的发热部短的发热部的上端或者下端连接有由非发热部构成的辐射板，

将所述第一加热器的发热部的一部分和所述第二加热器的辐射板相向配置，

在上下方向从在所述第二加热器的发热部和辐射板中的所述第二加热器的发热部被配置的一侧供给所述原料气体，从所述第二加热器的辐射板被配置的一侧导出包含三氯硅烷的反应气体。