[发明专利]压电体膜的制造方法、压电元件、液体喷射头及喷射装置有效
| 申请号： | 201110050753.X | 申请日： | 2011-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102194992A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 滨田泰彰 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/08;B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 制造 方法 元件 液体 喷射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电体膜的制造方法，其特征在于，具有：通过含有含Bi、Fe、Mn、Ba及Ti的金属化合物的前体溶液而形成压电体前体膜的工序，和通过加热所述压电体前体膜进行结晶化而得到在110面优先取向的压电体膜的工序。
2.如权利要求1所述的压电体膜的制造方法，其特征在于，所述前体溶液含有辛酸铁。
3.如权利要求1或2所述的压电体膜的制造方法，其特征在于，在111面取向的铂膜上形成所述压电体前体膜。
4.如权利要求1至3中任一项所述的压电体膜的制造方法，其特征在于，所述压电体膜为自然取向的膜。
5.如权利要求1至4中任一项所述的压电体膜的制造方法，其特征在于，所述前体溶液还含有SiO2。
6.如权利要求1至4中任一项所述的压电体膜的制造方法，其特征在于，所述压电体膜由含有含铁酸锰酸铋和钛酸钡的钙钛矿型化合物的压电材料形成。
7.一种压电元件，其特征在于，具有：通过权利要求1至6中任一项所述的压电体膜的制造方法而形成的压电体膜，和对所述压电体膜施加电压的电极。
8.一种液体喷射头，其特征在于，具备权利要求7所述的压电元件。
9.一种液体喷射装置，其特征在于，具备权利要求8所述的液体喷射头。
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