[发明专利]真空压印装置、真空压合装置及层状光学组件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种层状光学组件的制造方法及其使用的压印装置、压合装置，特别是利用真空工艺的层状光学组件制造方法及其使用的真空压印装置、真空压合装置。

背景技术

现有技术的层状光学组件是于一基板上形成多层光学层制作，此多层光学层依序利用光学胶固化形成，其中，光学层上可依需要利用模板印制图案。在现有技术的工艺中，该层状光学组件于大气环境下经由涂布、滚压、固化等工序依序分别制作形成。于滚压工序中，操作人工需将模板或保护膜以与光学胶层进行贴合对位，再以滚压轮进行滚压，此易造成贴合精度不足、贴合及滚压易引入气泡、滚压不易控制压合间隙及固化前需移转机台易造成光学胶层厚度变异。此外，于采用使用模板的滚压工序以形成光学层流程中，该模板于光学胶层固化后，尚需人工脱模，但由于人工脱模作业存在着较大的不确定因素，容易产生工艺不稳定性的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种真空压印装置，利用真空环境及机器精密定位的特性，以有效控制光学层的厚度尺寸并抑制固化后于各光学层间产生的气泡现象。

为了实现上述目的，本发明提供了一种真空压印装置，包含一真空室、一下载台、一上载台及一固化装置。该下载台设置于该真空室内，用以承载一基板，其上设置有一光学胶层。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一模板，该上载台能朝向该下载台移动以使该模板压印一图案于该光学胶层上。该固化装置用以固化该压印的光学胶层以形成一光学层于该基板上。藉此，该真空压印装置利用真空抑制该模板压印该光学胶层时引入空隙的可能性，并且可平稳且精确地控制该上载台下压，使得该固化后的光学层厚度均匀且无气泡。

本发明的另一目的在于提供一种真空压合装置，也利用真空环境及机器精密定位的特性，以有效控制光学层的厚度尺寸并抑制固化后于光学层与保护膜间产生的气泡现象。

为了实现上述目的，本发明提供了一种真空压合装置，包含一真空室、一下载台、一上载台及一固化装置。该下载台设置于该真空室内，用以承载一基板，其上形成有一第一光学层，该第一光学层上设置有一光学胶层。该上载台相对于该下载台设置于该真空室内，用以承载一保护膜，该上载台能朝向该下载台移动以使该保护膜平铺于该光学胶层上。该固化装置用以固化该光学胶层以形成一第二光学层于该第一光学层上。藉此，该真空压合装置也利用真空抑制该保护膜平铺于该光学胶层上时引入空隙的可能性，并且可平稳且精确地控制该上载台下压，使得该固化后的第二光学层厚度均匀且无气泡。

本发明的又一目的在于提供一种制造方法，利用本发明的真空压印装置及真空压合装置以制造一层状光学组件，故该制造方法也利用真空环境及机器精密定位的特性，以有效控制该层状光学组件的各光学层的厚度尺寸并抑制固化后于该层状光学组件的层状结构中产生的气泡现象。

为了实现上述目的，本发明提供了一种层状光学组件的制造方法，利用本发明的真空压印装置及真空压合装置以制造一层状光学组件，该真空压印装置包含一第一真空室、一第一下载台、一第一上载台及一第一固化装置，该真空压合装置包含一第二真空室、一第二下载台、一第二上载台及一第二固化装置，该第一下载台及该第一上载台设置于该第一真空室内，该第二下载台及该第二上载台设置于该第二真空室内；其它进一步说明，请参阅前述说明，不再赘述。该制造方法包含：准备一基板，放置于该第一下载台上；于该基板上涂布一第一光学胶层；准备一模板，固定于该第一上载台上；对该第一真空室抽真空；使该第一上载台朝向该第一下载台移动以使该模板压印一图案于该第一光学胶层上；利用该第一固化装置固化该压印的第一光学胶层以形成一第一光学层于该基板上；取出该基板及该第一光学层；放置该基板及该第一光学层于该第二下载台上；于该第一光学层上涂布一第二光学胶层；准备一保护膜，固定于该第二上载台上；对该第二真空室抽真空；使该第一上载台朝向该第二下载台移动以使该保护膜平铺于该第二光学胶层上；以及利用该第二固化装置固化该第二光学胶层以形成一第二光学层于该第一光学层上，进而形成该层状光学组件。藉此，该层状光学组件的该基板、该第一光学层、该第二光学层及该保护膜可被精确地定位，该第一光学层及该第二光学层的厚度能被精确控制，该第一光学层、该第二光学层及该保护膜间也可紧密贴合。

本发明的技术效果在于：本发明于真空环境中形成光学胶层，以有效抑制固化后于该光学层形成的层状结构中产生的气泡现象，并且采用机具以提升工艺精度，排除人工操作的不稳定性，故本发明能有效解决现有技术的问题。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。