[发明专利]图像数据生成装置及其方法、图像形成装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及在对象物上形成显影剂图像(toner image)的技术。

背景技术

以前，作为在印刷电路板、半导体衬底等对象物上形成布线图案的方法之一，以下方法为人们所知：通过在铜箔上形成与布线图案相对应的抗蚀剂膜的图案(即，抗蚀剂图案：resist pattern)，并隔着抗蚀剂图案在铜箔上涂敷蚀刻液，以此除去从铜箔的抗蚀剂膜露出的部位，从而形成由铜形成的布线图案。

在上述的布线图案的形成中，作为形成抗蚀剂图案的方法，例如利用光刻法(photolithography)，在该光刻法中，通过隔着掩模对对象物上的具有感光性的抗蚀剂膜照射光，以此在抗蚀剂膜上形成抗蚀剂图案的图像，并通过使该抗蚀剂膜显影来形成与布线图案相对应的抗蚀剂图案，其中，上述掩膜具有与布线图案相对应的透光部或遮光部。

在日本特开2002-122977号公报中公开了以下技术：在光刻法工序中，通过使与抗蚀剂图案的孤立线(即，周围无其他线的孤立的线)相对应的掩模图案的线宽比设计线宽细，以此防止孤立线因光学邻近效应而变粗。

另一方面，作为形成图像的方法，以下方法也为人们所知：利用静电复印法在具有感光性的对象物上照射光来形成静电潜像，并在该静电潜像上提供显影剂(toner)(即，进行显影)，以此来形成显影剂图像。在日本专利第3668373号公报中公开了以下技术：为了抑制显影时的静电潜像的边缘效应(即，通过使静电潜像的边缘部附近的电场比与静电潜像边缘相分开的其他区域的电场强，使得在边缘部附近比其他区域多附着显影剂从而浓度变高的现象)，在形成静电潜像时，在从一个图形要素中的关注像素到该图形要素的边缘为止的距离中的最短距离较短的情况下，使对关注像素照射的光的强度变小，从而抑制显影时的显影剂的过剩附着。

但是，在对于利用静电复印法形成于感光鼓上的静电潜像，利用显影工序使显影剂附着在该静电潜像上从而形成显影剂图像的情况下，以下情况为人们所知：在线状图形要素中因边缘效应而过剩附着显影剂，由此显影剂图像的线宽变得比静电潜像的线宽粗。另外，在将该显影剂图像转印在对象物上时，往往过剩附着的显影剂会在对象物上蔓延。由于这些原因，往往转印在对象物上的显影剂图像的线状图形要素的宽度将大于设计线宽。也存在局部产生此种线状图形要素的宽度增大的情况，如日本专利第3668373号公报那样，即使基于最短距离调整了照射在关注像素上的光的强度，也难于使线状图形要素的宽度均匀且等于设计线宽，其中，上述最短距离是指，从线状图形要素中的关注像素到该线状图形要素的边缘为止的距离中的最短距离。

发明内容

本发明涉及用于生成图像数据的图像数据生成装置，其目的在于修正边缘效应所导致的线状图形要素的宽度的增大，从而使显影剂图像的线状图形要素的宽度与所期望的宽度相同。

本发明涉及的图像数据生成装置，生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据。图像数据生成装置具有：外廓识别单元，其识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线；判定单元，其对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。由此，当在对象物上形成显影剂图像时，能够对边缘效应所导致的线状图形要素的宽度的增大进行修正，从而能够将显影剂图像的线状图形要素的宽度做成所期望的宽度。

本发明涉及的另一种图像数据生成装置具有：划定单元，其在原始图案数据的图像中的图形要素组，划定出一块图形要素组；外廓识别单元，其识别划定单元划定出的所述一块图形要素组的外廓线；判定单元，其对所述一块图形要素组中的位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于该外廓线的关系；修正单元，其根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正。由此，能够对边缘效应所导致的线状图形要素的宽度的增大进行修正，从而能够将显影剂图像的线状图形要素的宽度做成所期望的宽度。

本发明还涉及一种图像数据生成方法，用来生成用于以静电复印方式在对象物上形成显影剂图像的图像数据。图像数据生成方法包括：识别原始图案数据的图像中的图形要素组的外廓线的工序；对位于距识别出的所述外廓线规定距离内的位置的图形要素，判定相对于所述外廓线的关系的工序；根据该判定单元的判定结果来对该图形要素的数据进行修正的工序。