[发明专利]一种真空泵用预抽装置有效

专利信息
申请号: 201110051802.1 申请日: 2011-03-04
公开(公告)号: CN102654116A 公开(公告)日: 2012-09-05
发明(设计)人: 张振厚;王光玉;秦柏林 申请(专利权)人: 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;F04B39/16;F04B39/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 白振宇
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空泵 用预抽 装置
【权利要求书】:

1.一种真空泵用预抽装置,安装在真空泵端部轴承腔内,其特征在于:包括倒气螺杆(1)、阀体(2)及过滤桶(3),其中倒气螺杆(1)的一端与真空泵的泵体(15)相连,另一端与阀体(2)螺纹连接,在阀体(2)上密封连接有过滤桶(3),轴承腔内的气体通过过滤桶(3)过滤,依次经过阀体(2)、倒气螺杆(1)进入真空泵的低压端(19)。

2.按权利要求1所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述过滤桶(3)内容置有钢丝球(4)及滤芯(8),其中滤芯(8)螺纹连接于阀体(2)上,钢丝球(4)位于滤芯(8)的一侧。

3.按权利要求2所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述过滤桶(3)的一端通过O型密封圈(11)与阀体(2)密封、并用螺钉(9)连接,另一端通过沉头螺钉(6)固接有第一端板(5);在过滤桶(3)内、钢丝球(4)与滤芯(8)之间通过沉头螺钉(6)设有第二端板(7),所述钢丝球(4)位于第一端板(5)与第二端板(7)之间。

4.按权利要求3所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述第一端板(5)及第二端板(7)上均开有通孔(10)。

5.按权利要求2所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述阀体(2)内设有相互垂直并连通的第一气体流道(12)及第二气体流道(13),滤芯(8)与第一气体流道(12)相连通,所述倒气螺杆(1)的另一端与第二气体流道(13)相连通。

6.按权利要求1所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述倒气螺杆(1)为内部中空结构。

7.按权利要求1所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述倒气螺杆(1)上方的泵体(15)上设有过滤毛毡(16),通过不锈钢压盖盲板(21)固定,在过滤毛毡(16)与不锈钢压盖盲板(21)之间设有O型密封圈(11)。

8.按权利要求7所述的真空泵用预抽装置,其特征在于:所述泵体(15)上开有导气孔(17),该导气孔(17)一端与真空泵的低压端(19)相通,另一端与过滤毛毡(16)连通。

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