[发明专利]加速度计止挡结构无效
| 申请号： | 201110053174.0 | 申请日： | 2011-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102156194A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 钱栋彪;黄庆安;唐洁影;宋竞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P1/00 | 分类号： | G01P1/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 朱戈胜;王玉梅 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度计 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种加速度计止挡结构，其特征在于：包括衬底基板（1）、面内止挡层（2）、离面止挡层（3）以及可动的止挡接触头（6）；
面内止挡层（2）通过锚区（4）固定于衬底基板（1）之上，其底部向中心处凹陷；
止挡接触头（6）为T字型，T字首部位于面内止挡层（2）的凹陷处内部，T字尾部穿出至凹陷处外，所述止挡接触头（6）与面内止挡层（2）之间留有间隙；
离面止挡层（3）位于面内止挡层（2）之上且与之相连，所述离面止挡层（3）覆盖止挡接触头（6）T字首部的部分面积，并与止挡接触头（6）T字首部间留有的间隙。
2.根据权利要求1所述的加速度计止挡结构，其特征是：还设有止挡缓冲件（5），其与面内止挡层（2）位于同一水平面且平行衬底基板（1），所述止挡缓冲件（5）连接在面内止挡层（2）的开口处，其与止挡接触头（6）之间留有空隙，并可将止挡接触头（6）的T字首部限制在面内止挡层（2）的凹陷内。
3.根据权利要求1或2所述的加速度计止挡结构，其特征是：所述止挡接触头（6）T字首部前端设有凸起的弧形。
4.根据权利要求1或2所述的加速度计止挡结构，其特征是：衬底基板（1）的厚度比面内止挡层（2）、离面止挡层（3）、止挡缓冲件（5）以及可动的止挡接触头（6）的厚度均高出多个数量级。
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