[发明专利]大行程三平动正交解耦型精密微动平台及其控制方法

权利要求书

1.一种大行程三平动正交解耦型精密微动平台，其特征是：该精密微动平台系统包括精密微动平台、微位移驱动器、驱动器电源、中央控制单元、激光位移传感器和位移检测挡板，激光位移传感器与中央控制单元的输入端相连，激光位移传感器位于精密微动平台外，位移检测挡板安装在精密微动平台上，激光位移传感器与位移检测挡板相对应；中央控制单元的输出端与驱动器电源的输入端相连，驱动器电源的多路输出端与各微位移驱动器相连，微位移驱动器安装在精密微动平台内。

2.根据权利要求1所述的大行程三平动正交解耦型精密微动平台，其特征在于：所述的精密微动平台包括载物台、XY二维基座平台、固定平台、桥式微位移放大机构和柔性支链，在XY二维基座平台上连接有载物台，载物台为Z轴平台，在XY二维基座平台四侧连接有X轴和Y轴的固定平台和桥式微位移放大机构；所述的微位移驱动器有X轴和Y轴的微位移驱动器，X轴和Y轴的微位移驱动器分别安装在X轴或Y轴的桥式微位移放大机构中，X轴和Y轴桥式微位移放大机构分别与X轴或Y轴固定平台相连，XY二维基座平台的边与柔性支链组成X轴和Y轴的平行四杆导向机构，微位移驱动器、固定平台和桥式微位移放大机构位于平行四杆机构内。

3.一种大行程三平动正交解耦型精密微动平台的控制方法，其特征在于：平台系统的控制方法为：中央控制单元将预设的载物台的位移量转换成相应的电压信号并发送给驱动器电源，驱动器电源对接受到的电压信号进行放大，进而驱动XY二维基座平台和载物台，以实现载物台沿X、Y和Z轴方向的三自由度平移运动；同时，设在XY二维基座平台轴线方向上的X轴激光位移传感器、Y轴激光位移传感器和设在载物台上方的Z轴激光位移传感器将采集精密微动平台的位置信息，并将采集到的位置信息反馈给中央控制单元，中央控制单元对位置信息进行处理并对驱动器电源做进一步的控制，从而实现闭环控制。