[发明专利]分体式气足有效

专利信息
申请号: 201110053278.1 申请日: 2011-03-07
公开(公告)号: CN102678748A 公开(公告)日: 2012-09-19
发明(设计)人: 李进春;齐芊枫;方洁;郑椰琴;夏海;吴立伟 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: F16C32/06 分类号: F16C32/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 体式
【说明书】:

技术领域

发明涉及微电子装备,尤其涉及一种分体式气足。

背景技术

气足是为精密运动台提供气浮轴承支撑、以保证运动台在平台(一般为大理石平台)上作无摩擦运动的关键部件,其包括气浮结构和真空预紧力结构。

图1所示为现有技术的一种方形气足,该方形气足的气足板1的底面四个角为气浮结构2a、2b、2c和2d,中心为真空预紧力结构3,所述气浮结构2a、2b、2c和2d与所述真空预紧力结构3由所述气足板1加工成一体,如图2所示。

如图2所示,气足工作时,所述气浮结构2a、2b、2c和2d通入正压气体,在气足与平台4之间形成气膜,使气足受到气浮力N的支撑,保证气足在所述平台4上作无摩擦运动,而所述真空预紧力结构3则通入负压气体,使气足受到与所述气浮力N方向相反的真空预紧力F的作用,调节所述气浮力N及所述真空预紧力F的大小,可调节气足的气浮刚度。

上述气足结构为一体式气足结构,即气浮结构与真空预紧力结构由一块气足板加工成一体。一体式气足结构的特点是,若要提高气足的气浮刚度,需同时增加所述气浮力N和真空预紧力F,而增加所述真空预紧力F会导致所述气足板1的中部产生弯曲(如图2中的虚线所示),由于气浮的气膜厚度δ一般只有几微米到十几微米,因此,当所述气足板1的弯曲量σ过大使所述气足板1的中部与所述平台4接触时,气足运动将产生机械摩擦,使气浮失去作用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种分体式气足,气浮结构与真空预紧力结构分离,避免气足板在受到真空预紧力作用时产生弯曲变形,对气浮区域产生的影响。

为了达到上述的目的,本发明提供一种分体式气足,用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动,包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构,其特征在于,还包括设置在所述气足板上的真空预紧力结构,所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。

上述分体式气足,其中,所述真空预紧力结构与所述气足板的连接点与所述气浮结构的中心在同一条垂直于所述平台的直线上。

上述分体式气足,其中,所述真空预紧力结构的底面所在的位置高于所述气足板的底面所在的位置。

上述分体式气足,其中,所述真空预紧力结构包括真空板和真空板固定框架;所述真空板设置在所述真空板固定框架的底端;所述真空板固定框架与所述气足板连接;所述真空板与所述气足板之间形成一真空腔。

上述分体式气足,其中,所述真空板与所述气足板之间设有密封圈,该密封圈用于对所述真空腔进行密封。

上述分体式气足,其中,所述真空板固定框架通过支撑调节螺钉与所述气足板连接,该支撑调节螺钉调节所述真空板固定框架与所述气足板之间的距离,使所述真空板挤压所述密封圈。

上述分体式气足,其中,所述真空预紧力结构还包括盖板,所述盖板设置在所述真空板固定框架的顶端。

上述分体式气足,其中,所述真空预紧力结构的边沿设有柔性簧片,所述柔性簧片用于在水平面内定位所述真空预紧力结构。

上述分体式气足,其中,所述柔性簧片包括本体、第一垂向簧片和第二垂向簧片;所述第一垂向簧片与所述第二垂向簧片设置在所述本体的一侧,所述第一垂向簧片的一端与所述本体连接,所述第一垂向簧片的另一端与第二垂向簧片的一端连接;所述本体与所述气足板连接,所述第一垂向簧片与所述第二垂向簧片分别与所述真空预紧力结构连接。

上述分体式气足,其中,所述气足板底部的四个角各设有气浮结构。

上述分体式气足,其中,所述真空预紧力结构的四个角分别与所述气足板连接,一个连接点与一个气浮结构的中心在同一条垂直于所述平台的直线上。

本发明分体式气足由于真空预紧力结构与气足板分离,且真空预紧力结构与气足板的连接点与气浮结构的中心在同一条垂直于平台的直线上,因此,真空预紧力对气足板力的作用点与气浮结构的中心在同一条垂直于平台的直线上,不会导致气足板产生弯曲变形,不会影响气足正常工作;

本发明分体式气足能够满足较高刚度的气浮需求。

附图说明

本发明的分体式气足由以下的实施例及附图给出。

图1是现有技术的气足的示意图。

图2是现有技术的气足工作时的原理图。

图3是本发明分体式气足的俯视图。

图4是本发明分体式气足的底部示意图。

图5是图3中A-A阶梯剖视图。

图6是本发明中柔性簧片的结构示意图。

图7是本发明分体式气足工作时的原理图。

具体实施方式

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