[发明专利]流体施放器和玻璃清洗工艺

说明书

优先权声明

本申请要求2010年2月17日提交的美国临时专利申请系列第61/305250号的优先权权益。

技术领域

本发明涉及对玻璃板施加流体的设备和清除玻璃板颗粒物的方法。更确切地说，本发明涉及为清除玻璃板颗粒物而对玻璃板施加流体的方法和设备。

背景技术

由于平板显示器制造工艺中精制能力的增强，因而对更清洁部件的需求已日益增大。此种精制能力已增强到如下水平：玻璃板用作诸如液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)显示器之类、如今需要使表面基本上没有尺寸为1微米数量级以上缺陷的显示器应用的基板。因此，需要从用作显示器基板的玻璃板表面清除非常小的颗粒。此外，这些玻璃板通常具有小于或等于1.2mm的厚度。由于玻璃板的非常薄的性质，因而当执行洗涤操作时，通常倾向于使用高流量和低压，以不损坏薄的玻璃板。虽然这些洗涤操作适合于从玻璃板移除洗涤剂和大颗粒物，然而当试图移除小颗粒物(即，1到50μm的数量级)时，已留下非常大的改进空间。

发明内容

本发明目的在于提供可从具有小于或等于1.2mm厚度的玻璃板表面有效地清除小颗粒物(即1到50μm数量级)的设备和方法。发明人已发现小颗粒物非常强地粘连于玻璃表面，然而通过仔细地控制流体喷嘴的多个操作参数，可有效地移除小颗粒物，而不会提高刮伤玻璃的风险，这些操作参数包括：流体压力；流量；喷嘴喷射角；以及喷射喷嘴和玻璃板表面之间的距离。事实上，发明人已发现具有高压和低流量的装置(与传统玻璃洗涤操作中的装置正好相反)能极其有效地从薄玻璃板的表面移除小颗粒物。此外通过仔细地控制流体喷嘴的上述操作参数，可避免对薄玻璃板造成损害。

以下将详细阐述附加特征和优点，而且这些附加特征和优点部分地对于本领域的技术人员来说可以从说明书中显而易见，或者可通过以下说明书以及附图中所述的本发明的实践而认识到。应当理解，以上的总体说明和以下的详细说明都只是本发明的示例，意在提供对要求保护的本发明的本质和特征的总体或构架的理解。

包括附图以提供本发明的原理的进一步理解，附图包含在该说明书中并构成该说明书的一部分。这些附图示出一个或多个实施例，且与说明书一起借助示例来解释本发明的原理和操作。应理解的是，可以以任何组合和所有的组合来使用在说明书和附图中披露的本发明的各种特征。借助非限制示例，根据以下方面中的阐述可组合实施例的各种特征。

根据第一方面，提供一种从玻璃板清除颗粒物的方法，该方法包括：

对玻璃板进行支承；

使流体从喷嘴朝玻璃板喷射，其中该流体以10到80kg/m²的压力和从1到20l/min的流量输送至喷嘴；以及

使玻璃板和喷嘴沿传送方向进行相对运动。

根据第二方面，提供如方面1所述的方法，其中，相对运动使玻璃板以4到6m/min的传送速度相对于喷嘴运动。

根据第三方面，提供如方面1到2中任一方面所述的方法，其中，喷嘴设置成离玻璃板具有100mm以下的距离。

根据第四方面，提供如方面1到3中任一方面所述的方法，其中，玻璃板小于1.2mm厚。

根据第五方面，提供如方面1到4中任一方面所述的方法，其中，喷嘴具有孔，且孔的直径是0.2到1.0mm。

根据第六方面，提供如方面1到5中任一方面所述的方法，其中，

当孔直径是从0.3mm到0.5mm时，流量是1到5l/min；以及

当孔直径是从0.9mm到1.1mm时，所述流量是3到20l/min。

根据第七方面，提供如方面1到6中任一方面所述的方法，其中，

从喷嘴喷射的流体形成30到90度的扇角；以及

从喷嘴喷射的流体相对于玻璃板具有30-90度的倾斜角度。

根据第八方面，提供如方面1到7中任一方面所述的方法，其中，该方法还包括多个喷嘴，该多个喷嘴设置成两排，这些排设置成相对彼此成30到150度的角度，且这些排的中心线与传送方向对准或平行。

根据第九方面，提供如方面1到7中任一方面所述的方法，其中，该方法还包括多个喷嘴，该多个喷嘴设置在一排中，该排设置成相对于垂直于传送方向的线成15到75度的角度。

根据第十方面，提供如方面1到9中任一方面所述的方法，其中，流体是去离子水。

根据第十一方面，提供如方面1到10中任一方面所述的方法，其中，在已冲洗或洗涤玻璃板之后执行喷射流体的工序。