[发明专利]具有判定放电开始的功能的气体激光振荡器

权利要求书

1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：

电源输出指令部(16)，其生成电源输出指令，该电源输出指令在按照第1时间间隔阶梯状上升的第1电源输出指令的各阶梯的起始部分，按照比所述第1时间间隔短的第2时间间隔，重叠了比所述第1电源输出指令大的第2电源输出指令；

电压施加部(29)，按照由所述电源输出指令部(16)指令的所述电源输出指令来对放电管(26)施加电压；

放电管电压检测部(28)，检测由所述电压施加部(29)施加了电压时的所述放电管(26)的电压；

放电管电压监视部(30)，监视由所述放电管电压检测部(28)检测出的所述放电管(26)的电压；

放电开始判定部(12)，在由所述放电管电压监视部(30)监视到的所述放电管(26)的电压相对于电源输出指令的变化比例与根据在所述放电管(26)中正常放电时的数据而预定的、所述放电管(26)的电压相对于电源输出指令的变化比例的差在预定的阈值以内时，判定为在所述放电管(26)中已开始放电。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，

所述第1时间间隔是0.1秒～1秒，所述第2时间间隔是100微秒以下。

3.根据权利要求1或2所述的气体激光振荡器，其特征在于，

重叠了所述第2电源输出指令的所述电源输出指令的各阶梯的最大输出指令在相当于额定激光输出或最大激光输出的1/2的电源输出指令以上，并且在相当于额定激光输出或最大激光输出的电源输出指令以下。