[发明专利]薄膜太阳能电池用导电玻璃及其制备方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池用导电玻璃，包括有玻璃基材(1)和透明导电膜(5)，透明导电膜(5)包括有金属氧化物导电层(2)和第二金属氧化物导电层(4)，其特征在于：在金属氧化物导电层(2)和第二金属氧化物导电层(4)之间夹置有金属层(3)，金属氧化物导电层(2)、金属层(3)和第二金属氧化物导电层(4)依次设置在玻璃基材(1)的一侧表面上。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃，其特征在于：所述的玻璃基材(1)为普通浮法白玻璃或超白浮法玻璃。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃，其特征在于：所述的金属氧化物导电层(2)厚度为100～500nm，金属层(3)厚度为10～100nm，第二金属氧化物导电层(4)厚度为100～500nm。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃，其特征在于：所述的金属氧化物导电层(2)为AZO、GZO、ZnO、SnO₂或ITO中的任一种。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃，其特征在于：所述的金属层(3)为银薄膜、铝薄膜、钼薄膜中的任一种，或者为银铝钼中任意二者组成的合金薄膜。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃，其特征在于：所述的第二金属氧化物导电层(4)为AZO、SnO₂:F或ITO中的任一种。

7.一种薄膜太阳能电池用导电玻璃的制备方法，其特征在于所述制备方法为：在玻璃基材上通过低压化学气相沉积、等离子化学气相沉积、磁控溅射或热喷涂的方法制备金属氧化物导电层，以磁控溅射或热蒸发的物理气相沉积方法制备金属层，以化学气相沉积方法制备第二金属氧化物导电层。

8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃的制备方法，其特征在于：所述的在玻璃基材上通过磁控溅射的方法制备金属氧化物导电层，以磁控溅射的物理气相沉积方法制备金属层，以常压的化学气相沉积方法制备第二金属氧化物导电层，具体操作步骤如下：

第一步，将金属氧化物靶材和金属靶材安装于磁控溅射生产线的溅射腔内；

第二步，对溅射腔进行抽真空，然后充入氩气，调整溅射腔的压强；

第三步，开启前端加热并进行温度设置；开启靶材直流射频电源，设置金属导电氧化物靶材溅射功率和金属靶材靶材溅射功率；

第四步，将清洗过的玻璃基材放置入磁控溅射生产线上片区，依次流拉至前端加热区、金属氧化物靶材溅射腔和金属靶材溅射腔，在辉光放电稳定的基础上进行溅射沉积，通过功率调节和氩气流量调节达到金属氧化物导电层的厚度要求和金属层的厚度要求；

第五步，将上一步得到的镀制有金属氧化物导电层和金属层的玻璃基材放置入化学气相沉积生产线内镀制第二金属氧化物导电层，通过调节控制玻璃基材的加热温度、原料气体流量、玻璃基材移动速度和载气流量，达到第二金属氧化物导电层的厚度要求，制备出薄膜太阳能电池用导电玻璃。

9.根据权利要求8所述的薄膜太阳能电池用导电玻璃的制备方法，其特征在于：所述步骤中：

第一步，靶材与玻璃基材的间距调整为20～60mm；

第二步，对溅射腔进行抽真空至10-3pa；调整溅射腔的压强为0.8～3pa；

第三步，温度设置为100～200℃；金属导电氧化物靶材溅射功率设置为200～300W，金属靶材溅射功率设置为100～200W；

第四步，将金属氧化物导电层厚度沉积为100～500nm，金属层厚度沉积为10～100nm；

第五步，调节控制玻璃基材的加热温度为300～600℃，玻璃基材移动速度控制在1～2m/min，载气流量控制在10～90L/min，将第二金属氧化物导电层厚度沉积为100～500nm。