[发明专利]立式热处理装置及其冷却方法

权利要求书

1.一种立式热处理装置，其特征在于，

该立式热处理装置包括：

炉主体，在该炉主体的内周面上设有加热部；

处理容器，其配置在炉主体内，在该处理容器和炉主体之间形成有空间，在该处理容器内部收纳多个被处理体；

多个空气吹出孔，它们设在炉主体上；

空气供给管路，其与炉主体相连接，该空气供给管路用于借助多个空气吹出孔向空间内供给冷却用空气；

空气排气管路，其与炉主体相连接，该空气排气管路用于自空间内排出冷却用空气；

鼓风机，其配置在空气供给管路和空气排气管路中的至少一方上；

空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构，该空气供给管路侧阀机构设在空气供给管路上，该空气排气管路侧阀机构设在空气排气管路上，

压力检测系统，其用于检测炉主体和处理容器之间的空间内的压力，

控制部，该控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制鼓风机、空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构中的至少一方而使空间内的压力成为微负压，

在该立式热处理装置中，压力检测系统设置在炉主体和处理容器之间的空间中的、与空气吹出孔的设置区域相对应的空间区域。

2.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

控制部使空间内成为0Pa～-85Pa的微负压。

3.根据权利要求2所述的立式热处理装置，其特征在于，

控制部使空间内成为-20Pa～-30Pa的微负压。

4.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

空气供给管路和空气排气管路互相连结而构成封闭系统空气供给/排气管路，

在该封闭系统空气管路上设有空气供给以及空气排气用的鼓风机。

5.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

分别独立地设置空气供给管路和空气排气管路而构成开放系统空气供给/排气管路，

在该空气供给管路上设有空气供给鼓风机，在该空气排气管路上设有空气排气鼓风机。

6.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制鼓风机的转速而使空间内成为微负压。

7.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

控制部基于来自压力检测系统的检测信号调整空气供给管路侧阀机构的阀开度、或者调整空气排气管路侧阀机构的阀开度，从而使空间内成为微负压。

8.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

压力检测系统具有以贯穿炉主体的方式设置的压力检测管和设在压力检测管的出口处的压力传感器。