[发明专利]一种精密主动减振装置

权利要求书

1.一种精密主动减振装置，其特征在于，该装置包括在同一基体内加工而成的被动减振部分与主动减振部分，主动减振部分位于被动减振部分上面，二者之间为中间断开的直线隔离槽，直线隔离槽为螺旋线形槽；主动减振元件采用的压电块结构，其中压电块的预压力由折叠弹簧提供，被动减振元件采用的是柔性铰链结构，整个装置关于垂向中心线轴对称。

2.根据权利要求1所述的精密主动减振装置，其特征在于，被动减振部分包括结构相同的第一至第四柔性单元（4a、4b、4c、4d），C形槽（6a），和下直线槽（6c）；每个柔性单元包括两个柔性铰链，两个柔性铰链的中心线q位于同一水平线上；第二柔性单元（4b）位于第一柔性单元（4a）的下方，且其位置与第一柔性单元（4a）沿垂向对齐；第一柔性单元（4a）和第三柔性单元（4c）的上端与直线隔离槽（6b）相连，第一、第三柔性单元（4a、4c）下端与C形槽（6a）的上端相连；第二、第四柔性单元（4b、4d）的下端与直线槽（6c）相连，上端与C形槽（6a）的下端相连；其中直线隔离槽（6b）包括对称的左右两段，左段从整个垂向精密减振装置的左端面沿水平方向向中心线o延伸，直到与第一柔性单元（4a）的右端对齐；直线隔离槽（6b）的右段从整个垂向精密减振装置的右端面沿水平方向向中心线o延伸，直到与第三柔性单元（4c）的左端对齐；直线槽（6c）从第二柔性单元（4b）的左端沿水平向一直延伸至第四柔性单元（4d）的右端。

3.根据权利要求1或2所述的精密主动减振装置，其特征在于，主动减振部分包括位于该垂向精密主动减振装置左右两端的第一、第二折叠弹簧（1a、1b），位于第一、第二折叠弹簧与中心线o之间的第一、第二方孔（9a、9b），位于第一、第二方孔（9a、9b）中的由压电作动器（2）和压电传感器（3）组成的两个压电块，以及直线槽（7）；其中，直线槽（7）从第一方孔（9a）沿水平向一直延伸到第二方孔（9b）；两个压电块中的压电作动器（2）和压电传感器（3）层叠布置，其上下关系能够交换。

4.根据权利要求1或2所述的精密主动减振装置，其特征在于，主动减振部分包括位于装置左右两端的第三、第四折叠弹簧（14a、14b），位置比第三、第四折叠弹簧（14a、14b）更靠近装置中心线p的第三、第四方孔（17a、17b），位于第三、第四方孔（17a、17b）中的由压电作动器（12）和压电传感器（11）组成的压电块，直线槽（15）和直线槽（16a、16b），以及四个柔性铰链（13a、13b、13c、13d）；其中第三方孔（17a）的法线r和第四（17b）的法线s均与装置中心线p有一定的交角，并且第三、第四方孔（17a、17b）相对于中心线p对称；压电块中压电作动器（2）和压电传感器（3）层叠布置，其上下关系可交换；在垂直于第三方孔（17a）与压电块接触平面的法线方向上布置有两个柔性铰链（13a、13b），它们在第三方孔（17a）两侧对称布置；同样，在垂直于第四方孔（17b）与压电块接触平面的法线方向上布置有两个柔性铰链（13c、13d），它们在第四方孔（17b）两侧对称布置；直线槽（16a）的一端沿水平向连接第三折叠弹簧（14a）,另一端连接第三方孔（17a）；直线槽（16b）的一端沿水平向连接第四折叠弹簧（14b）,另一端连接第四方孔（17b）；直线槽（15）的两端分别沿水平向连接第三、第四方孔（17a、17b）。