[发明专利]制造芯片的方法、气体传感器装置、在芯片上镀碳纳米管的方法

权利要求书

1.一种制造芯片的方法，所述芯片用于气体传感器，其特征在于，包括：

步骤102，在基底上制作所述芯片的电极；

步骤104，在所述基底上制作所述电极间的连线；

步骤106，在所述电极上镀上碳纳米管。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤102包括：

选择硅片、石英片或玻璃片作为所述芯片的基底，并进行烘干；

在所述基底上溅射Cr/Cu种子层；

对所述基底上的Cr/Cu上进行甩胶、光刻；

对所述基底上的Cr/Cu进行蚀刻，以形成所述电极。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤104包括：

在所述基底上进行甩胶、光刻；

在所述基底上溅射Cr/Cu种子层；

对所述基底进行去胶，以形成所述连线。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤106包括：

在所述基底上进行甩胶、光刻，以保护所述连线，释放所述电极；

在所述电极上电镀镍；

在所述电极的镍上镀上碳纳米管。

5.一种气体传感器装置，其特征在于，包括信号发生器、传感器芯片、电流/电压转换器、带通滤波器、交/直流转换器、模/数转换器、可编程控制器，其中，

所述信号发生器，为所述传感器芯片提供正弦波交流信号；

所述传感器，所述传感器的芯片的电极上覆盖有碳纳米管，接收来自所述信号发生器的所述正弦波交流信号，并对气体产生感应，形成电流信号；

所述电流/电压转换器，接收来自所述传感器的所述电流信号，对所述感应电流进行电流/电压转换以及差分放大，形成交流电压信号；

所述带通滤波器，接收来自所述电流/电压传感器的所述交流电压信号，对所述交流电压信号进行滤波处理；

所述交/直流转换器，接收来自所述带通滤波器的所述交流电压信号，并转换成直流电压信号；

所述模/数转换器，接收来自所述交/直流转换器的所述直流电压信号，将所述电压信号由模拟信号转换为数字信号；

所述可编程控制器，接收来自所述模/数转换器的所述数字信号，并对所述数字信号进行分析处理，并输出结果数据。

6.根据权利要求5所述的气体传感器装置，其特征在于，所述信号发生器为由运算放大器和RC文氏电桥组成的振荡器。

7.根据权利要求5所述的气体传感器装置，其特征在于，所述电流/电压转换器为由运算放大器和反馈电阻组成的并联负反馈电路。

8.根据权利要求5所述的气体传感器装置，其特征在于，所述交/直流转换器为线性检波电路。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的气体传感器装置，其特征在于，还包括：

显示模块，接收来自所述可编程控制器的所述结果数据，并将所述结果数据以波形的方式进行显示；

存储模块，接收来自所述可编程控制器的所述结果数据并进行存储；

异常模块，接收来自所述可编程控制器的所述结果数据，并根据所述结果数据判断气体是否存在异常。

10.一种在芯片上镀碳纳米管的方法，所述芯片用于气体传感器，其特征在于，包括：

步骤302，将碳纳米管均匀分散在丙酮溶液中；

步骤304，对含有所述碳纳米管的所述丙酮溶液进行超声处理；

步骤306，通过电泳，将所述丙酮溶液中的所述碳纳米管镀到所述芯片的电极上。