[发明专利]三氯硅烷制造装置

权利要求书

1. 一种三氯硅烷制造装置，是从包括四氯硅烷和氢的原料气体制造三氯硅烷的装置，其特征在于，

具有被供给上述原料气体、生成包括三氯硅烷和氯化氢的反应气体的反应室、和设在上述反应室之中的加热器；

上述反应室的内部空间被沿着周向的第1壁沿半径方向区划为多个；

由上述第1壁形成的空间的至少一个被沿与周向交叉的方向延伸的第2壁区划为多个；

在上述反应室的内部空间中，形成由上述第1壁彼此区划的小空间、及/或由上述第1壁及上述第2壁区划的小空间；

上述小空间通过形成在区划上述小空间的上述第1壁及/或上述第2壁的上部或下部的连通部而成为连通状态，以使上述原料气体通过上下折回而一边改变流动的方向一边朝向上述反应室的中心部流通；

在上述各小空间中的至少一部分中设置上述加热器；

通过形成在上述第2壁上的上述连通部，使朝上流路用小空间与朝下流路用小空间沿周向连通。

2. 如权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，上述各小空间仅与使上述原料气体对上述小空间流入的流入侧小空间、和上述原料气体流出的流出侧小空间相邻而设置。

3. 如权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，上述各小空间不与两个以上之前或两个以上之后的形成原料气体的流动的小空间相邻。

4. 如权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，在上述反应室及上述小空间中，在上述第1壁及上述第2壁的接合部上，设置接触在上述反应室的底板及顶板上的支持部件。