[发明专利]振动片、振子、传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种振动片，其特征在于，包含：

基部；

振动臂，其从上述基部起在第1方向上延伸，在平面视图中在与上述第1方向垂直的第2方向上具有宽度，且在与上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向上具有厚度；以及

梳齿电极，其设置在上述振动臂的与上述第3方向垂直的第1面以及与上述第1面相对的第2面中的至少一方上，且在上述第1方向上排列有电极指，

通过由上述梳齿电极产生的上述第1方向上的电场，使上述振动臂产生上述第1方向上的伸缩，使上述振动臂在上述第3方向上振动。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

在设上述振动臂的上述宽度为w、上述厚度为t时，w＞t。

3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

上述振动片采用了石英，

上述第1方向是石英晶轴的X轴方向，上述第2方向是石英晶轴的Y轴方向，上述第3方向是石英晶轴的Z轴方向。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的振动片，其特征在于，

关于上述梳齿电极，在设上述电极指与和该电极指的一侧相邻的其它上述电极指之间的距离为L1、上述电极指与和该电极指的另一侧相邻的其它上述电极指之间的距离为L2时，上述L2大于上述L1。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的振动片，其特征在于，

设上述振动臂的基部端附近的上述电极指与和该电极指的一侧相邻的其它上述电极指之间的距离为L1、上述电极指与和该电极指的另一侧相邻的其它上述电极指之间的距离为L2，则上述L2大于上述L1，

当设上述振动臂的末端部附近的上述电极指与和该电极指的一侧相邻的其它上述电极指之间的距离为L3、上述电极指与和该电极指的另一侧相邻的其它上述电极指之间的距离为L4时，上述L4大于上述L3，而且上述L4大于上述L2。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的振动片，其特征在于，

上述梳齿电极设置在上述第1面以及上述第2面上，

对于设置在上述第1面上的第1梳齿电极与设置在上述第2面上的第2梳齿电极，上述电场的方向是彼此相反的。

7.根据权利要求6所述的振动片，其特征在于，

对于上述第1梳齿电极与上述第2梳齿电极，在从上述第3方向观察的平面视图中，极性不同的上述电极指相互不重叠。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的振动片，其特征在于，

在上述振动臂的上述第1面以及上述第2面中的至少一方上设置有凸部，

在上述凸部的与上述第1方向垂直的两个侧面上分别设置有构成上述梳齿电极的上述电极指。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的振动片，其特征在于，

设置有多个上述振动臂。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的振动片，其特征在于，

上述基部包括第1基部和第2基部，

上述振动臂的一端与上述第1基部相连，上述振动臂的另一端与上述第2基部相连。

11.一种振子，其特征在于，包含：

权利要求1～10中任意一项所述的振动片；以及

收容上述振动片的收容体。

12.一种传感器，其特征在于，包含权利要求1～10中任意一项所述的振动片。

13.一种电子设备，其特征在于，包含权利要求1～10中任意一项所述的振动片。