[发明专利]压力检测系统和温度传感器的组合体以及立式热处理装置

权利要求书

1.一种立式热处理装置，其特征在于，

该立式热处理装置包括：

炉主体，在该炉主体的内周面上设有加热部；

处理容器，其配置在炉主体内，在该处理容器和炉主体之间形成有空间，在该处理容器内部收纳多个被处理体；

温度传感器，其配置在炉主体和处理容器之间的空间；

空气供给管路，其与炉主体相连接，该空气供给管路用于向空间内供给冷却用空气；

空气排气管路，其与炉主体相连接，该空气排气管路用于自空间内排出冷却用空气；

鼓风机，其配置在空气供给管路和空气排气管路中的至少一方上；

空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构，该空气供给管路侧阀机构设在空气供给管路上，该空气排气管路侧阀机构设在空气排气管路上，

在该立式热处理装置上设有自炉主体外方贯穿炉主体而延伸至炉主体和处理容器之间的空间的保护管，在该保护管内收纳有与温度传感器相连接的温度传感器信号线，并且，在该保护管上形成有朝向空间开口的压力检测孔，且在炉主体外方设有与保护管的压力检测孔相连接的压力检测传感器。

2.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

该立式热处理装置还具有控制部，该控制部基于来自温度传感器的检测信号控制加热部，并且该控制部基于来自压力检测传感器的检测信号控制鼓风机、空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构中的至少一方而调整空间内的压力。

3.根据权利要求1所述的立式热处理装置，其特征在于，

保护管由具有压力检测孔的细长状的陶瓷制管构成，在陶瓷制管内形成有与压力检测孔平行地延伸的温度传感器信号线用的开孔。

4.一种压力检测系统和温度传感器的组合体，其特征在于，该压力检测系统和温度传感器的组合体包括：

保护管，其具有压力检测孔和开孔；

温度传感器，其设在保护管的一端部；

温度传感器信号线，其与温度传感器相连接，该温度传感器信号线收容在保护管的开孔内而自保护管的另一端部向外方延伸。

5.根据权利要求4所述的压力检测系统和温度传感器的组合体，其特征在于，

在保护管的另一端部设有与压力检测孔相连通的压力检测管，在该压力检测管上连接有压力检测传感器。