[发明专利]一种精密的振镜校正系统及校正方法

权利要求书

1.一种精密的振镜校正系统，它包括振镜校正标靶(31)，其特征在于：所述的精密的振镜校正系统还包括：

一个二维运动平台(32)，该二维运动平台(32)设在振镜校正标靶(31)的底部；

对振镜校正标靶(31)上每个标记点进行图像采集的CCD图像采集装置(33)，该CCD图像采集装置(33)安装在二维运动平台(32)的上方；

用于控制二维运动平台(32)的运动，把振镜校正标靶(31)上的每个标记点运动到理论位置，对采集的图像计算出每个标记点的位置偏差，并输出振镜校正文件给振镜控制系统(1)，对振镜进行校正的校正处理模块(34)。

2.根据权利要求1所述的一种精密的振镜校正系统，其特征在于：所述的精密的振镜校正系统的测量精度为0.02-0.1毫米的定位精度。

3.根据权利要求1所述的一种精密的振镜校正系统，其特征在于：所述的校正处理模块(34)包括：

用于控制所述的二维运动平台(32)精确运动到指定位置的运动控制模块(341)；

用于对CCD图像采集装置(33)采集的图像进行计算，计算出实际标记点的位置与理论标记点的位置的偏差的位置偏差计算模块(342)；

用于把所述的位置偏差计算模块(342)生成的结果输出，用于振镜校正的补偿文件的振镜补偿模块(343)。

4.根据权利要求1所述的一种精密的振镜校正系统，其特征在于：所述的振镜校正系统安装在固定机座(4)上；所述的二维运动平台(32)包括Y直线电机(321)、X直线电机(322)及工作平台(323)；所述的Y直线电机(321)设置在平面座标系中的Y方向，X直线电机(322)设在X方向并设置在Y直线电机(321)的上方，工作平台(323)设在Y直线电机(321)的上方。

5.根据权利要求4所述的一种精密的振镜校正系统，其特征在于：所述的二维运动平台(32)采用直线电机或伺服电机或步进电机为驱动电机。

6.根据权利要求1所述的一种精密的振镜校正系统，其特征在于：所述的CCD图像采集装置(33)包括CCD(331)、摄像镜头(332)和光源(333)，所述的摄像镜头(332)的一端固定在CCD(331)的一端上，CCD(331)的侧面固定安装在固定机座(4)上，为CCD(331)摄像采集提供光线照明的光源(333)固定安装在固定机座(4)上。

7.一种应用权利要求1所述的一种精密的振镜校正系统对振镜进行校正的方法，其特征在于：所述的校正方法包括以下的步骤：

(1)先把要校正的振镜在加工振镜校正标靶(31)上标记出所有的标记点；

(2)把振镜校正标靶(31)安装固定在二维运动平台(32)的工作平台(323)上；

(3)通过校正处理模块(34)控制移动Y直线电机(321)、X直线电机(322)，使安装在工作平台(323)上的振镜校正标靶(31)移动到理论标记点位置；

(4)由CCD图像采集装置(33)采集当前标记点图像；

(5)由校正处理模块(34)对采集的图像进行计算，得出实际标记点与理论标记点的位置误差；

(6)如果还有标记点没有采集处理完毕，则返回步骤(3)，重新执行下一个标记点的采集和处理；

(7)全部标记点处理完毕后，由校正处理模块(34)输出振镜补偿文件给振镜控制系统(1)，对振镜进行校正。