[发明专利]一种晶硅铸锭炉双腔室热场及其控制方法

权利要求书

1.一种晶硅铸锭炉双腔室热场，包括绝热笼、设置于绝热笼内的加热器、用于放置坩埚的热交换台和用于热交换台与绝热笼外部间进行散热的热门，所述绝热笼的下方设有一水冷板或水冷炉壁，热交换台置于绝热笼内，其特征在于：所述绝热笼的内壁上设有一圈抵触在其上且能沿其升降的隔板，隔板由绝热材料制成，隔板位于绝热笼的内壁与热交换台外壁之间，位于热交换台两侧的隔板上均固接一吊杆，所述的吊杆上端穿过绝热笼与一升降驱动机构连接。

2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭炉双腔室热场，其特征在于所述的水冷板或水冷炉壁与绝热笼的底部之间设有多个百叶片，每个百叶片上贯穿一转动轴，所有的转动轴与一旋转驱动机构连接，所有百叶片的轴接点位于同一水平线上，当所有的百叶片转动至水平位置时，所述的百叶片形成一将绝热笼底部封闭的平面板。

3.根据权利要求2所述的晶硅铸锭炉双腔室热场，其特征在于所述的转动轴通过夹具固定在百叶片上，夹具由耐高温的金属或非金属制成。

4.根据权利要求2所述的晶硅铸锭炉双腔室热场，其特征在于当所有的百叶片处于水平位置时，相邻的百叶片之间通过台阶进行密封配合。

5.权利要求1所述晶硅铸锭炉双腔室热场的控制方法，其特征在于：当铸锭炉处于熔化阶段，隔板下降到最低位；当铸锭处于晶核形成阶段，隔板位置上移；当铸锭进入中期，隔板继续向上运动，始终保持硅熔体部分位于热腔，硅固体部分位于较冷腔；当铸锭进入后期，隔板移动至顶部；当铸锭结束，进入退火阶段，隔板回到最低位。

6.权利要求2所述晶硅铸锭炉双腔室热场的控制方法，其特征在于百叶片的控制方法如下：百叶片通过旋转驱动机构控制其转动角度为90度，在水平位置与垂直位置之间进行转动。