[发明专利]一种用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具无效
申请号: | 201110062132.3 | 申请日: | 2011-03-15 |
公开(公告)号: | CN102219398A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 赵懿昊;李全宁;王翠鸾;刘素萍;马骁宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C03C25/22 | 分类号: | C03C25/22 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 光纤 侧面 均匀 增透膜 夹具 | ||
1.一种用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具,其特征在于,该夹具包括上半部分和下半部分,被该夹具夹持的光纤在镀膜过程中采用公转与自转相结合的形式转动,其中:
该上半部分与镀膜机的旋转部件相连接,由镀膜机的旋转部件带动该上半部分转动,使该上半部分侧面夹持的光纤围绕该夹具中心转动,形成公转;
该下半部分与镀膜机的机体相连接,在该上半部分转动时保持不动,由该下半部分表面的齿轮轨道迫使该上半部分中夹持光纤的部件在随该上半部分转动的同时自身同步转动,形成自转。
2.根据权利要求1所述的用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具,其特征在于,该上半部分的内侧面具有夹持光纤的部件,该部件具有一中心孔,通过调整该中心孔的大小来夹持不同直径的光纤。
3.根据权利要求2所述的用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具,其特征在于,该上半部分的外侧面具有一孔,该孔与所述中心孔在一条通过夹具圆心的径线上,使光纤在镀膜过程中保持水平。
4.根据权利要求1所述的用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具,其特征在于,该夹具采用的材料为不锈钢。
5.根据权利要求1所述的用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具,其特征在于,该夹具的连接处均不使用润滑油或油性润滑物质。
6.根据权利要求1所述的用于在光纤侧面均匀蒸镀增透膜的夹具,其特征在于,该夹具在安装过程中要保证该下半部分的水平,并通过调整该夹具与镀膜机以及该上半部分与下半部分之间的配合,确保该上半部分在该下半部分上转动时的顺畅性。
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