[发明专利]硅基不等宽微槽道平板热管及制备方法

权利要求书

1.一种硅基不等宽微槽道平板热管，其特征在于，所述硅基不等宽微槽道平板热管中的微槽道（12）是一簇结构相同、宽度连续变化的微槽道结构。

2.根据权利要求1所述的硅基不等宽微槽道平板热管，其特征在于，所述微槽道（12）为矩形微槽道或V形微槽道。

3.根据权利要求1或2所述的硅基不等宽微槽道平板热管，其特征在于，所述硅基不等宽微槽道平板热管包括：两片带有一簇结构相同、宽度连续变化的微槽道结构的硅基片（9），两片所述的硅基片（9）通过静电封接的方法封接在一起，组合成不等宽微槽道平板热管。

4.根据权利要求3所述的硅基不等宽微槽道平板热管，其特征在于，在所述两片硅基片（9）之间封装有玻璃环基片（14），所述玻璃环基片（14）中间通过光刻和化学腐蚀方法形成蒸汽腔（13）。

5.根据权利要求3所述的硅基不等宽微槽道平板热管，其特征在于，

所述硅基片（9）表面通过氧化作用形成一层二氧化硅薄膜。

6.一种硅基不等宽微槽道平板热管的制备方法，包括以下步骤：

第一步：采用光刻和湿法化学腐蚀的方法，将两片硅片刻蚀成具有一簇结构相同、宽度连续变化的微槽道结构的硅基片（9）；

第二步：利用静电封接的方法将两个硅基片（9）封接在一起，组合成不等宽微槽道平板热管。

7.根据权利要求6所述的硅基不等宽微槽道平板热管的制备方法，其特征在于，第二步还包括：利用光刻和化学腐蚀方法，制作出尺寸与硅基片（9）相同的中间带有蒸汽腔（13）的玻璃环基片（14），利用静电封接的方法将玻璃环基片（14）与上下两个硅基片（9）封接在一起，组合成不等宽微槽道平板热管的步骤。

8.根据权利要求6所述的硅基不等宽微槽道平板热管的制备方法，其特征在于，在第一步之前还包括：将两片尺寸相同的矩形硅基片（9）进行氧化，在硅基片（9）表面形成一层二氧化硅薄膜的步骤。