[发明专利]一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法

说明书

技术领域

本发明涉及在半导体生产设备制造领域内，一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。

背景技术

双臂机械手在吸附硅片时，硅片的圆心位置理论上即是未端臂FORK的圆心。无论双臂机械手的上下臂运动轨迹如何变化，但上下臂运动轨迹的原始基准是确定的。理论上讲，当T轴处于零位，双臂向前平伸，上下臂FORK的圆心是重合的。但由于制造误差的装配误差的存在，实际上的上下臂FORK的圆心是不重合的。为了使上下臂FORK的圆心不重合程度小于规定的指标，需要双臂机械手在装配调试时，一是要有一个确定双臂FORK圆心的基准，二是在双臂机械手的左右臂，要有在R轴旋转平面可以进行平移的调整机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。本方法通过试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK圆心进行调整。

本发明的发明目的是这样实现的：一种调整双臂机械手FORK圆心重合的方法，所述方法使用的装置包括FORK调整夹头机构和FORK圆心基准试验台。FORK调整夹头机构包括FORK组合1、调整紧固螺钉2、调整夹头本体3、气路密封胶圈4、取片臂5、气路接口6、取片臂下盖板7。FORK圆心基准试验台包括框架结构8、圆心调节装置底板9、小臂中间定位板10、圆心定位块11、小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13、主机支撑板14等。

将气路接口6的螺纹端拧入调整夹头本体3旋紧到位后，把气路密封圈4放入调整夹头本体3上的密封圈槽内，将FORK组合1的气孔对正密封圈4的气孔，把FORK组合1后端放入调整夹头本体3的槽内，将8个紧固螺钉拧紧到位。

经上述安装后的装配体放入取片臂5的凹槽内，将4个调整紧固螺钉2从取片臂的长孔内拧入装配体但并不旋紧。此时装配体在取片臂5的槽中应能左右平移2mm。

两个臂都完成上述装配后，将双臂机械手的主机放入圆心基准试验台内，先将主机的惟一安装位置固定，然后将T轴调至零位。

调正零位后，将两臂的小臂紧靠在圆心试验台的小臂中间定位板10上，并以小臂定位固定夹板12、小臂定位活动夹板13夹紧。此时，双臂机械手的大臂和小臂均以固定，只有取片臂能够活动。

将两个取片臂的联接螺钉拧松，前后左右的转动或平移上下取片臂5，使FORK组合1的圆心半径与定位块11的圆心半径靠紧并完全吻合后，再将所有松开的螺钉紧固到位。

保持现有紧固状态，将两个小臂的同步带与带轮安装啮合，调整同步带预紧机构，保持足够的预紧力，并检查双臂的传动机构，确保没有无约束的自由转动或移动。

拆除定位约束按以下顺序进行：先拆除圆心定位块11，再拆除小臂活动夹板13，最后卸下小臂固定夹板12与小臂中间夹板10。

本发明一种调整双臂机械手圆心重合的方法，具有如下优点：

1、在本发明中，FORK圆心重合的调整过程使用同一基准的圆心定位块，因此定位精度较高，重复精度好。

2、在本发明中，由于FORK圆心重合调整试验台的框架使用了主机工位调试试验台的框架，因此调整后无需搬运主机，安装工作工位后，即可进行硅片的传输试验，可减少工位试验的系统误差，提高硅片传输精度。

3、本发明之FORK圆心重合的调整方法，结构简单、作用可靠、操作简便、可有效降低设备调试的成本。

附图说明

图1为本发明中的调整机构-FORK调整夹头的俯视图。

在图1中，具体数字表示：O点表示FORK的圆心、1-FORK组合；

图2为本发明中的调整机构-FORK调整夹头的主剖视图。

在图2中，具体数字表示：1-FORK组合；2-调整紧固螺钉、3-调整夹头本体、4-气路密封胶圈、5-取片臂、6-气路接口、7-取片臂下盖板；

图3表示FORK圆心基准试验台的俯视图。

具体数字表示：8-框架结构、9-圆心调节装置底板、10-小臂中间定位板、11-圆心定位块、12-小臂定位固定夹板、13-小臂定位活动夹板、14-主机支撑板。

具体实施方式

结合附图对本发明作进一步说明：