[发明专利]具有可枢转的阀关闭梁的活板输送阀

权利要求书

1.一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中，该活板输送阀具有：

·细长的特别是狭缝形的第一开口(1)，该第一开口沿第一纵向轴线(2)延伸，并且由位于第一密封平面(41)上第一密封表面(3)以框架的形式围绕；

·细长的阀关闭梁(4)，

-该阀关闭梁沿平行于所述第一纵向轴线(2)的第二纵向轴线(5)延伸，并且

-该阀关闭梁在正面(6)上具有用于关闭所述第一开口(1)的关闭表面(8)；并且

-该阀关闭梁具有第二密封表面(9)，该第二密封表面对应于所述第一密封表面(3)，能与所述第一密封表面气密接触，并且位于所述关闭表面(8)的边缘区域中并且位于第二密封平面(42)上；

·至少一个支撑件(40)，所述至少一个支撑件位于所述阀关闭梁(4)的与所述正面(6)相对的背面(7)上，其中，所述阀关闭梁(4)布置成使其经由所述支撑件(40)上的可枢转连接(43)能够绕与所述第二纵向轴线(5)平行的倾转轴线(44)枢转通过限定的枢转角；以及

·枢转支承件(60)，所述支撑件(40)通过该枢转支承件与所述阀关闭梁(4)一起能够绕与所述第二纵向轴线(5)平行的枢转轴线(10)在关闭位置(C)和开启位置(O)之间枢转，其中

-在所述关闭位置(C)中，所述阀关闭梁(4)的所述关闭表面(8)盖住并封闭所述第一开口(1)，并且所述第一密封表面(3)与所述第二密封表面(9)通过借由所述支撑件(40)施加至所述背面(7)的力的施加而在共同的第一密封平面(41)和第二密封平面(42)上气密接触，并且

-在所述开启位置(O)中，所述阀关闭梁(4)枢转离开所述第一开口(1)，从而至少部分地释放所述第一开口(1)，

所述活板输送阀的特征在于：

·所述枢转轴线(10)大致位于所述第一密封平面(41)上，并且

·所述倾转轴线(44)大致位于所述第二密封平面(42)上。

2.根据权利要求1所述的活板输送阀，

其特征在于：

所述支撑件(40)和所述阀关闭梁之间的所述可枢转连接(43)由至少一个倾转接头(43a)、至少一个球接头(43b)或至少一个枢转接头(43c)形成。

3.根据权利要求1或2所述的活板输送阀，

其特征在于：

·位于所述关闭表面(8)的边缘区域中的所述第二密封表面(9)沿指向所述背面(7)的方向向后设置，使得所述关闭表面(8)至少在所述阀关闭梁(4)的中心区域中沿所述阀关闭梁(4)的所述正面(6)的方向伸出所述第二密封平面(42)，并且

·在所述阀关闭梁(4)的背面(7)上，至少在所述阀关闭梁(4)的中心区域中形成至少一个凹部(45)，所述至少一个凹部沿所述正面(6)的方向至少延伸到所述第二密封平面(42)，其中，所述倾转轴线(44)在所述凹部(45)的区域中延伸，并且

·所述可枢转连接(43)设置在所述凹部(45)中。

4.根据权利要求3所述的活板输送阀，

其特征在于：

所述可枢转连接(43)由下列结构形成：

·所述至少一个凹部(45)以及

·位于所述支撑件(45)上的至少一个凸起(46)，

其中

·所述凸起(46)伸入所述凹部(45)中，并且在所述凸起(46)和所述凹部(45)之间存在接触，使得所述阀关闭梁(4)能相对于所述支撑件(40)绕所述倾转轴线(44)枢转。

5.根据权利要求4所述的活板输送阀，

其特征在于：

·所述可枢转连接(43)呈倾转接头(43a)的形式；

·所述凹部(45)具有基部(47)；并且

·所述凸起(47)的横截面相对于所述倾转轴线(44)和所述第二纵向轴线(5)以直角穿过的所述平面收敛至一点，并且具有尖端(48)，

其中，所述尖端(48)和所述基部(47)之间的所述倾转轴线(44)上形成点接触或线接触，因此这形成了所述倾转接头(43a)。

6.根据权利要求5所述的活板输送阀，

其特征在于：

所述凸起(47)具有V型截面，并且所述尖端(48)由收敛到一点的V形角形成。