[发明专利]一种卧式收放线张力控制机构

说明书

技术领域

本发明属于多线切割机领域，具体的涉及一种一种卧式收放线张力控制机构。

背景技术

多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过十几个导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给，可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片，多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点。已逐渐取代了传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割，是目前采用最广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

多线切割机在一定速度下的钢线张力精确控制是关键的、必要的。第一要有快速的张力变动响应，保证切削时恒定的钢线张力；第二需要收线和放线有单独的排线结构，拓宽工艺路线；第三需要可靠断线检测功能，确保意外断线后及时停车；第四尽量简化结构，减少过线导轮数量，降低断线几率。在现有产品中过线轮结构不合理，由于过线轮的失效导致的断线几率较高，且在断线后没有可靠的断线检测手段。

发明内容

为克服现有技术中的不足，本发明旨在提供一种卧式收放线张力控制机构，该机构实现线切割机钢线张力的精确控制，提高钢线张力控制的可靠性，提升整体性能。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种卧式收放线张力控制机构，包括基板，还包括一钢线，所述钢线由放线辊、长导线轮、放线排线导线轮、放线张力测量导轮、放线排线控制导轮控制放线侧张力；所述钢线由切削室导出后，经收线张力控制导轮、收线张力测量导轮、收线排线导轮和收线辊控制收线侧张力；限位柱固联于所述张力控制导轮和放线排线控制导论两侧；防转块固联于所述基板上，位于所述放线辊和收线辊左上方。

进一步的，所述收线辊由左右两处的锥头支撑在轴上，通过螺栓、压块和蝶簧轴向定位；所述轴经联第一轴器与第一电机连接；同时所述轴由左右两处的轴承支撑于轴承座上，所述轴承座通过端面绝缘垫、第一绝缘衬套和第二绝缘衬套固联于所述基板上；所述第一电机通过联结法兰固联于所述基板。

进一步的，所述收线排线导轮通过轴承支撑于导轮轴，所述导轮轴固联于直线轴，所述直线轴通过固定座、第一连杆和连板与丝杆固联，并由轴线轴承支撑于所述基板上；所述丝杆经第二联轴器与第二电机相连，并由左右两处的轴承支撑于支架上，所述支架固联于所述基板。

进一步的，所述收线张力控制导轮由轴承支撑于导轮轴上，并通过第二连杆、接轴固接于第三电机，所述第三电机固联于所述基板。

进一步的，所述防转块内部开有通孔，防转杆在所述通孔内自由滑动，限位杆固联于所述防转杆上。

进一步的，绝缘碳刷支架固联于所述联结法兰上，碳刷座固联于所述绝缘碳刷支架上，碳刷安装在所述碳刷座内，所述碳刷座与刷环固连，所述刷环与轴固联；压指通过销铰接于所述绝缘碳刷支架上，并通过固定在支杆上弹簧施加压力于碳刷。

进一步的，所述长导线轮由轴承支撑于空轴上，所述空轴与所述基板固联。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明采用伺服拖动控制钢线张力，实现钢线高速下张力的精确控制；采用独立的收放线排线结构，提升了工艺的灵活性；简化了过线导轮的空间布局，降低了断线的几率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示出了本发明的外部结构示意图。

图2示出了图1中K-K的剖视图。

图3示出了图2中L-L的剖视图。

图4示出了图1中N-N的剖视图。