[发明专利]多晶硅生产线尾气回收净化处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：包括依次连接的氯硅烷回收装置(1)、盐酸与白炭黑回收装置(2)和尾气净化装置(3)，还包括控制各装置工作的电气控制单元，

所述的氯硅烷回收装置(1)包括冷凝装置(1-1)和氯硅烷回收罐(1-2)，冷凝装置(1-1)的气体进口管路连接生产线尾气出口，冷凝装置(1-1)的冷凝液体出口管路连接氯硅烷回收罐(1-2)；

所述的盐酸与白炭黑回收装置(2)包括盐酸回收塔(2-1)、盐酸循环池(2-2)、盐酸回收罐(2-3)、超声波循环槽(2-4)、白炭黑过滤槽(2-5)和白炭黑回收罐(2-6)，盐酸回收塔(2-1)的气体进口管路连接所述的冷凝装置(1-1)的气体出口，盐酸回收塔(2-1)的洗涤液出口管路连接超声波循环槽(2-4)的进口，超声波循环槽(2-4)的出口连接到白炭黑过滤槽(2-5)的进口，白炭黑过滤槽(2-5)的白炭黑出口管路连接白炭黑回收罐(2-6)，白炭黑过滤槽(2-5)的盐酸出口连接到盐酸循环池(2-2)的进口，盐酸循环池(2-2)的盐酸出口管路分别连接盐酸回收罐(2-3)和盐酸回收塔(2-1)的洗涤液进口；

所述的尾气净化装置(3)包括尾气净化塔(3-1)和碱液循环池(3-2)，尾气净化塔(3-1)的气体进口管路连接所述的盐酸回收塔(2-1)的气体出口，尾气净化塔(3-1)的洗涤液进口管路连接碱液循环池(3-2)的洗涤液出口，尾气净化塔(3-1)的洗涤液出口管路连接碱液循环池(3-2)的洗涤液进口。

2.如权利要求1所述的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：所述的冷凝装置(1-1)包括依次串联的一级换热器(1-11)和二级换热器(1-12)，还设有为一级换热器(1-11)和二级换热器(1-12)提供冷却介质的冷冻机组和压缩机，一级换热器(1-11)的气体进口管路连接多晶硅生产线尾气出口，一级换热器(1-11)的气体出口管路连接二级换热器(1-12)的气体进口，二级换热器(1-12)的气体出口管路连接盐酸回收塔(2-1)，一级换热器(1-11)和二级换热器(1-12)的冷凝液出口管路连接氯硅烷回收罐(1-2)。

3.如权利要求2所述的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：所述的一级换热器(1-11)和二级换热器(1-12)为列管式换热器，所述的一级换热器(1-11)的冷却介质为低温冷冻盐水，所述的二级换热器(1-12)的冷却介质为R404或R507制冷剂。

4.如权利要求1所述的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：所述的盐酸回收塔(2-1)包括依次串联的一级盐酸回收塔(2-11)和二级盐酸回收塔(2-12)，一级盐酸回收塔(2-11)的气体出口管路连接二级盐酸回收塔(2-12)的气体进口，二级盐酸回收塔(2-12)的气体出口管路连接尾气净化塔(3-1)的气体进口，一级盐酸回收塔(2-11)的洗涤液出口管路连接超声波循环槽(2-4)的进口。

5.如权利要求4所述的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：所述的盐酸循环池(2-2)数量为两个，分别为与一级盐酸回收塔(2-11)对应的一级盐酸循环池(2-21)，与二级盐酸回收塔(2-12)对应的二级盐酸循环池(2-22)，超声波循环槽(2-4)的出口管路通过白炭黑过滤槽(2-5)后连接一级盐酸循环池(2-21)的进口，一级盐酸循环池(2-21)的出口管路连接盐酸回收罐(2-3)和一级盐酸回收塔(2-11)的洗涤液进口，二级盐酸回收塔(2-12)的洗涤液出口管路连接二级盐酸循环池(2-22)的进口，二级盐酸循环池(2-22)的出口管路分别连接一级盐酸循环池(2-21)和二级盐酸回收塔(2-12)的洗涤液进口。

6.如权利要求1所述的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：所述的白炭黑过滤槽(2-5)和白炭黑回收罐(2-6)之间的管路上具有第一输送泵和第一电磁开关阀，所述的盐酸循环池(2-2)和盐酸回收罐(2-3)之间的管路上具有第二输送泵和第二电磁开关阀。

7.如权利要求1所述的多晶硅生产线尾气回收净化处理装置，其特征是：所述的盐酸回收塔(2-1)的洗涤液进口和盐酸循环池(2-2)之间的管路上具有两个并联的互为备用的第一组循环泵，所述的尾气净化塔(3-1)的洗涤液进口和碱液循环池(3-2)之间的管路上具有两个并联的互为备用的第二组循环泵。