[发明专利]微波等离子体激发装置

权利要求书

1.一种微波等离子体激发装置，包括：

等离子体反应腔室；

金属窗框，设置于该等离子体反应腔室的一面，且该金属窗框具有多个窗口；

多个窗格，设置于该金属窗框的该些窗口内；

多个微波发射机，设置于该等离子体反应腔室外；以及

多个导波管，分别连接该些微波发射机之一与该些窗格之一，以构成多个等离子体激发单元。

2.如权利要求1所述的微波等离子体激发装置，还包括阻抗匹配元件，介于每一导波管与该等离子体反应腔室之间。

3.如权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其中该些窗格为石英、陶瓷或其他耐高温的介电材料。

4.如权利要求1所述的微波等离子体激发装置，还包括多个产生电子回旋共振的永久磁铁，其分别放置于该金属窗框上。

5.如权利要求4所述的微波等离子体激发装置，其中该金属窗框内还包括多个冷却水管通道，其对应设置于该些永久磁铁底下。

6.如权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其中该金属窗框内还包括多个反应气体通道。

7.如权利要求6所述的微波等离子体激发装置，其中该金属窗框还包括多个进气孔洞，连通该些反应气体通道并从该些窗口开出该些进气孔洞，以使等离子体反应气体通过该些进气孔洞进入该等离子体反应腔室。

8.如权利要求1所述的微波等离子体激发装置，还包括多个O型环，设置于该金属窗框与每一窗格之间的预留沟槽中。

9.如权利要求1所述的微波等离子体激发装置，其中每一等离子体激发单元构成一独立控制的等离子体激发装置，扩充该等离子体激发单元的个数，即可扩大整体微波等离子体激发装置的面积。