[发明专利]一种大功率紫外激光器

权利要求书

1.一种大功率紫外激光器，其特征在于，所述的紫外激光器包括光路顺序连接的光源和谐振腔，所述的谐振腔为振荡光路为Z型的折叠型谐振腔。

2.根据权利要求1所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的光源为半导体二极管泵浦光源（1）。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的折叠型谐振腔包括光路顺序连接的第一球面透镜镜（2）、第二球面透镜（3）、第一平面镜（4）、激光晶体（5）、Q开关（6）、第一非球面透镜（7）、二倍频晶体（8）、第二非球面透镜（9）、三倍频晶体（10）以及第二平面镜（11），所述的第一球面透镜镜（2）的光线入射端耦合所述的光源的光线出射端，所述的第二非球面透镜（9）的反射面为该大功率紫外激光器的激光输出端。

4.根据权利要求3所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的激光晶体（5）为输出波长为1064nm的Nd:YVO₄掺钕钒酸钇、Nd:YAG掺钕钇铝石榴石、Nd:YLF掺钕氟化钇锂或Nd:Glass掺钕玻璃激光晶体。

5.根据权利要求4所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的激光晶体（5）的掺杂浓度为0.3%。

6.根据权利要求3所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的第一非球面透镜（7）的半径为-300mm，所述的第二非球面透镜（9）的半径为-100mm。

7.根据权利要求6所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的第一非球面透镜（7）镀有透光波长为1064nm反光波长为532nm的膜，所述的第二非球面透镜（9）镀有透光波长为1064nm和532nm反光波长为355nm的膜。

8.根据权利要求3所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的二倍频晶体（8）和三倍频晶体（10）的匹配方式为：I类相位匹配方式LBO三硼酸锂光学晶体、Ⅱ类相位匹配方式KTP磷酸二氢钾光学晶体、Ⅱ类相位匹配方式BBO偏硼酸钡光学晶体或Ⅱ类相位匹配方式CLBO六硼酸铯锂光学晶体中的一种。

9.根据权利要求3所述的大功率紫外激光器，其特征在于，所述的第二平面镜（11）镀有透光波长为1064nm、532nm和355nm的膜。