[发明专利]一种高效太阳能电池陷光结构及其制作方法

权利要求书

1.一种高效太阳能电池陷光结构，包括太阳电池扩散片（3），其特征是在太阳电池扩散片（3）上设有多个柱形的二维光子晶体（4），通过柱形的二维光子晶体（4）在太阳电池扩散片（3）上划分多个微区（301），在太阳电池扩散片（3）上对应微区（301）的边缘处设埋栅电极并通过埋栅电极实现内部电极间的互联，在划分的微区（301）上设有微型半透镜（6），所述的微型半透镜（6）形成阵列结构，在太阳电池扩散片（3）背面设有一维光子晶体全方向反射镜（1），在微型半透镜（6）上设增透膜。

2.根据权利要求1所述的高效太阳能电池陷光结构，其特征是所述的微型半透镜（6）为单层或多层。

3.根据权利要求1所述的高效太阳能电池陷光结构，其特征是所述的微区（301）直径为太阳电池扩散片（3）中少子扩散长度的1～2倍。

4.根据权利要求1所述的高效太阳能电池陷光结构，其特征是所述的微型半透镜（6）直径为微区（301）直径的1～1.5倍。

5.根据权利要求1或3或4所述的高效太阳能电池陷光结构，其特征是所述的微区（301）直径为100mm～500mm。

6.根据权利要求1所述的高效太阳能电池陷光结构，其特征是所述的微型半透镜（6）呈三角晶格或正方晶格排列。

7.一种高效太阳能电池陷光结构的制备方法，其特征是步骤如下：

（1）芯片准备，取太阳电池扩散片，进行工艺参数测试；

（2）在太阳电池扩散片上进行环形二维光子晶体的制作，通过二维光子晶体的完全带隙形成二维光子晶体全反镜，将太阳能电池扩散片划分成多个微区；

（3）在太阳电池扩散片上制作埋栅电极；

（4）在太阳电池扩散片背面制作一维光子晶体全向反射镜；

（5）在太阳电池扩散片正面制作微型半透镜；

（6）在微型半透镜上制作增透膜。

8.根据权利要求7所述的高效太阳能电池陷光结构的制备方法，其特征是所述的微型半透镜为单层或多层。

9.根据权利要求7所述的高效太阳能电池陷光结构的制备方法，其特征是所述的微区直径为太阳电池扩散片3中少子扩散长度的1～2倍，所述的微型半透镜6直径为微区直径的1～1.5倍。

10.根据权利要求7或9所述的高效太阳能电池陷光结构的制备方法，其特征是所述的微区直径为100mm～500mm。