[发明专利]激光近场分辨率测量用4f光学系统无效
申请号: | 201110067455.1 | 申请日: | 2011-03-21 |
公开(公告)号: | CN102183300A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 李红光;董晓娜;达争尚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G01J9/00;G02B27/00;G02B27/30 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 徐平 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 近场 分辨率 测量 光学系统 | ||
1.一种激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述激光近场分辨率测量用4f光学系统包括对入射光起准直作用的准直元件、对入射光起会聚作用的会聚元件以及探测器;所述准直元件、会聚元件以及探测器依次设置于同一光轴上。
2.根据权利要求1所述的激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述准直元件是正透镜和/或负透镜所形成的第一透镜单元;所述会聚元件是负透镜和/或正透镜所形成的第二透镜单元。
3.根据权利要求2所述的激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述准直元件仅由负透镜或正透镜形成第一透镜单元时,所述第一透镜单元是双凸形透镜、平凸形透镜、弯月形透镜或双凹形透镜。
4.根据权利要求2所述的激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述准直元件由负透镜和正透镜所形成的第一透镜单元时,所述第一透镜单元至少包括一个弯月形负透镜以及一个双凸形正透镜;所述弯月形负透镜以及双凸形正透镜依次设置于同一光轴上。
5.根据权利要求2所述的激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述会聚元件仅由正透镜或负透镜形成第二透镜单元时,所述第二透镜单元是双凸形透镜、平凸形透镜、弯月形透镜或双凹形透镜。
6.根据权利要求2所述的激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述会聚元件由正透镜和负透镜形成第二透镜单元时,所述第二透镜单元至少包括一个双凸形正透镜以及一个弯月形负透镜,所述双凸形正透镜和弯月形负透镜依次设置于同一光轴上。
7.根据权利要求1-6任一权利要求所述的高功率激光近场分辨率测量用4f光学系统,其特征在于:所述探测器是胶片或者CCD。
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