[发明专利]纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法无效

专利信息
申请号: 201110067723.X 申请日: 2011-03-21
公开(公告)号: CN102222572A 公开(公告)日: 2011-10-19
发明(设计)人: 王美丽;李京波;王岩 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01G9/04 分类号: H01G9/04;H01G9/20;H01M14/00;H01L51/48
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 汤保平
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 纳米 阵列 多孔 复合 结构 阳极 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,包括以下几个步骤:

步骤1:取一导电基片;

步骤2:采用丝网印刷技术,在导电基片的表面印刷TiO2浆料;

步骤3:加热,使TiO2浆料中的有机溶剂挥发,得到TiO2纳米晶多孔膜,有利于染料的吸附;

步骤4:在TiO2纳米晶多孔膜上沉积ZnO晶种层3,有利于ZnO纳米线的外延生长;

步骤5:采用水热化学反应法,在ZnO晶种层上外延生长ZnO纳米线阵列,有利于光生电子的直线传输并加快电荷分离,完成ZnO纳米线阵列4和TiO2纳米晶多孔膜纳米复合光阳极的制备。

2.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中在导电基片上丝网印刷TiO2浆料的次数为1-5次,TiO2浆料每印刷一次,在温度为120℃时干燥5分钟。

3.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中对TiO2浆料层进行加热时,是采取分步升温的方式,从室温至150℃,升温速度为1-3℃/min,之后以5℃/min升温至500℃,在500℃时保持20-40分钟。

4.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中在TiO2纳米晶多孔膜的表面沉积ZnO晶种层时,采用的方法是磁控溅射、蒸镀或溶胶-凝胶的方法。

5.根据权利要求4所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中ZnO晶种层的厚度为200-300nm。

6.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中外延生长ZnO纳米线阵列时,采用的方法是水热化学反应法,采用的锌源为硝酸锌或醋酸锌溶液,该硝酸锌或醋酸锌溶液的浓度为50mM-100mM,该水热反应溶液的pH值为9.8-10.3,反应温度为90-120℃,反应时间为5-12小时。

7.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中导电基片是导电玻璃或导电塑料。

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