[发明专利]纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法无效
申请号: | 201110067723.X | 申请日: | 2011-03-21 |
公开(公告)号: | CN102222572A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 王美丽;李京波;王岩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01G9/04 | 分类号: | H01G9/04;H01G9/20;H01M14/00;H01L51/48 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 阵列 多孔 复合 结构 阳极 制备 方法 | ||
1.一种纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,包括以下几个步骤:
步骤1:取一导电基片;
步骤2:采用丝网印刷技术,在导电基片的表面印刷TiO2浆料;
步骤3:加热,使TiO2浆料中的有机溶剂挥发,得到TiO2纳米晶多孔膜,有利于染料的吸附;
步骤4:在TiO2纳米晶多孔膜上沉积ZnO晶种层3,有利于ZnO纳米线的外延生长;
步骤5:采用水热化学反应法,在ZnO晶种层上外延生长ZnO纳米线阵列,有利于光生电子的直线传输并加快电荷分离,完成ZnO纳米线阵列4和TiO2纳米晶多孔膜纳米复合光阳极的制备。
2.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中在导电基片上丝网印刷TiO2浆料的次数为1-5次,TiO2浆料每印刷一次,在温度为120℃时干燥5分钟。
3.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中对TiO2浆料层进行加热时,是采取分步升温的方式,从室温至150℃,升温速度为1-3℃/min,之后以5℃/min升温至500℃,在500℃时保持20-40分钟。
4.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中在TiO2纳米晶多孔膜的表面沉积ZnO晶种层时,采用的方法是磁控溅射、蒸镀或溶胶-凝胶的方法。
5.根据权利要求4所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中ZnO晶种层的厚度为200-300nm。
6.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中外延生长ZnO纳米线阵列时,采用的方法是水热化学反应法,采用的锌源为硝酸锌或醋酸锌溶液,该硝酸锌或醋酸锌溶液的浓度为50mM-100mM,该水热反应溶液的pH值为9.8-10.3,反应温度为90-120℃,反应时间为5-12小时。
7.根据权利要求1所述的纳米线阵列/纳米晶多孔膜复合结构光阳极的制备方法,其中导电基片是导电玻璃或导电塑料。
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