[发明专利]振动体、振动装置、以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种振动体、具有振动体的振动装置、以及具备这些振动体和振动装置的电子设备。

背景技术

作为晶体振荡器等的振动装置，已知一种具备音叉型振动体的振动装置，其中，所述音叉型振动体具备多个振动臂(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1中所记载的振动体具有：基部；三个振动臂，其从该基部起以相互平行的方式延伸；压电体元件，其被构成为，在各个振动臂上依次形成有下部电极膜、压电体膜以及上部电极。在这种振动体中，各个压电体元件通过向下部电极与上部电极之间施加电压，从而使压电体膜进行伸缩，由此使各个振动臂进行弯曲振动。

因此，一直以来，为了使压电体元件的特性成为所需的特性，从而一直在对下部电极膜、压电体膜以及上部电极的形成范围、压电体膜的厚度进行着变更。

即，在减小等效并联电容C₀以及等效串联电容C₁时，通过减小下部电极膜、压电体膜以及上部电极的外形形状，从而减小电极膜的形成范围(面积S)、或者增厚压电体膜的厚度d。

但是，当增加压电体膜的厚度时，将会产生如下加工工艺上的问题，即，压电体膜的温度特性的影响将增大从而导致振动体的温度特性恶化、或者压电膜的成膜会需要较长时间等。而且，当减小下部电极膜、压电体膜以及上部电极的形成范围时，将会存在如下问题，即，由于将成为振动臂的宽度方向上的驱动力分布发生偏倚的状态，从而压电体元件的驱动力向振动臂的传递将无法很好地进行。即，当仅通过采用如下结构，即，使下部电极膜与上部电极靠近振动臂的宽度的中央并呈缩窄的形状、且未在振动臂的两侧形成电极，从而较小地形成下部电极膜、压电体膜以及上部电极的形成范围的结构时，由于未在振动臂的不存在电极的两侧部分一带产生驱动力，因而通过在存在电极的中央处局部产生的驱动力，将使振动臂进行弯曲。因此，为了使振动臂进行所需强度的弯曲，需要采取提高电极间的驱动用的电压等的处理，从而存在效率低下的情况。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2009-5022号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于，提供一种能够以简单且低成本的方式获得所需的振动特性的振动体、具有振动体的振动装置、以及使用这些振动体、振动装置的电子设备。

用于解决课题的办法

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，其能够作为以下的实施方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所记载的振动体的特征在于，具有：基部；从所述基部起延伸的振动臂；压电体元件，其被设置在所述振动臂上，并通过通电而进行伸缩以使所述振动臂振动，其中，所述压电体元件具备第1电极层、第2电极层、和位于所述第1电极层以及所述第2电极层之间的压电体层，在所述第1电极层、所述压电体层以及所述第2电极层中的至少一个层上，形成有多个在其厚度方向上贯穿的孔。

本应用例所记载的振动体能够在不改变振动臂上的压电体元件的形成区域(驱动区域)的条件下，减小第1电极层以及第2电极层的有效面积，从而调节压电体元件的振动特性。

因此，其能够很好地实现压电体元件的驱动力向振动臂的传递，且能够分别减小等效并联电容C₀以及等效串联电容(等效电路常数)C₁以调节至所需的值。而且，由于在对压电体元件的振动特性进行调节时，无需改变压电体层的厚度，因而能够防止温度特性发生变化、或者防止产生由于压电体层的厚膜化而引起的加工工艺上的问题。

而且，多个孔的形成能够与层的外形的图案形成同时进行。因此，也不会发生因制造时的工序数量的增加而导致成本提高的情况。

应用例2

在上述应用例所记载的振动体中，优选为，多个所述孔被形成在所述第1电极层以及所述第2电极层中的至少一个上。

由于第1电极层以及第2电极层较薄，因而能够较简单且高精度地进行多个孔的形成。而且，即使在第1电极层上设置多个孔，在第1电极层上产生的高度差也极小，从而不会对压电体层的形成带来负面影响。而且，由于第2电极层在第1电极层以及压电体层之后被形成，因而即使在第2电极层上设置多个孔，也不会对第1电极层以及压电体层的形成带来负面影响。

应用例3

在上述应用例所记载的振动体中，优选为，多个所述孔至少被形成在所述第1电极层上。

通过在第1电极层上形成多个孔，从而能够根据其形成状态来调节压电体层的定向性。

应用例4