[发明专利]模块式电调谐微流控阵列光开关芯片

权利要求书

1.一种模块式电调谐微流控阵列光开关芯片，其特征在于该芯片采用“盖板+波导层+底板”结构，其中，第一层为盖板(1)，盖板上留有接线孔(2)；第二层为波导层(3)，其中每一个单元都设有微流道(4)、第一条形波导(5)、第二条形波导(6)、第三条形波导(7)、第四条形波导(8)、第一等腰直角棱镜(9)、第二等腰直角棱镜(10)，其中，两个棱镜的斜面构成微流道(4)，微流道(4)的一端密封，另一端为向外延伸的曲面结构(11)，曲面外侧贴有薄膜(12)，薄膜外侧是电调谐控制器件(13)；第一条形波导(5)、第二条形波导(6)、第三条形波导(7)、第四条形波导(8)顺序相差90度设置；第三层为底板(14)；盖板(1)的下表面与波导层、波导层与底板通过等离子辅助键合方式连接，实现密封及固定的效果。

2.根据权利要求1所述的模块式电调谐微流控阵列光开关芯片，其特征在于电调谐控制器件(13)包括压电陶瓷或，压电双晶片，或电控移动的薄片。

3.根据权利要求1或2所述的模块式电调谐微流控阵列光开关芯片，其特征在于薄膜(12)在微流道的侧方或上方，压电陶瓷或压电双晶片或电控移动的薄片相应的从侧方或上方作用在薄膜上，推动液体移动。

4.根据权利要求1所述模块式电调谐微流控阵列光开关芯片，其特征在于阵列光开关根据需要由多个单元任意连接成m×n阵列形式，其中m，n为正整数。