[发明专利]含氧的n-型β-硅化铁(FeSi2)及其制造方法

权利要求书

1.一种n-型β-硅化铁(FeSi₂)的制造方法，在硅晶圆上以化学气相沉积含氧的n-型β-FeSi₂，至少包含下列步骤：

将一个多区石英炉管，第一区放置反应所需的前驱物，第二、三区则放入清洗过后的硅晶圆，将石英炉管内的压力抽至1至10^-3torr后通入惰性气体1至30torr，再将压力抽到1至10^-3torr，此动作反复数次；

升温到水的沸点以上，持温一个小时将结晶水去除；

通入所需的载流气体，该载流气体的流量大于15sccm，将前驱物慢慢带到待反应的硅基板上，氧则来自硅晶圆上的氧化层(native oxide)，使得金属氯化物在与硅基板反应之前先与氧气反应，而产生Fe-O，再与基板反应形成FeSi₂；

将第二区和第三区的温度升到反应温度并维持一段时间，该反应温度为650℃至950℃；

停止加热，在真空下回温至室温，但载流气体仍旧持续将前驱物运送到硅基板上，同时也慢慢地将热量带走，慢慢退火而得含氧的n-型β-FeSi₂。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该前驱物为铁的卤化物。

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该前驱物为亚铁的卤化物。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该惰性气体为氮(N₂)。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该硅晶圆的面向为(100)。

6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该硅晶圆的面向为(111)。

7.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该硅晶圆的面向为(110)。

8.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该载流气体为80-99％氩(Ar)及1-40％氢(H₂)，较佳为80％氩(Ar)及20％氢(H₂)。

9.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：该载流气体为氮(N₂)。