[发明专利]一种基于激光自准直的二维微角度测量装置无效
| 申请号： | 201110069375.X | 申请日： | 2011-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN102155927A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;廉孟冬;张戢云 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 二维 角度 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于激光自准直的二维微角度测量装置，其特征在于包括半导体激光器1、偏振分光棱镜2、1/4波片3、透镜4、被测物体或反光镜5、底座6、四象限光电探测器7、信号处理器8；在底座（6）上固定有半导体激光器（1）、偏振分光棱镜（2）、1/4波片(3)、透镜(4)、四象限光电探测器(7)，半导体激光器(1)发出的光束经偏振分光棱镜(2)后分为两束，其中一束光入射在被测物体(5)表面，反射光经偏振分光棱镜(2)后由四象限光电探测器(7)接收并转化为四路电信号，该信号经信号处理器(8)的I-V转换器、数字滤波器、数据采集器、数据存储器后，在计算机中完成信号分析并显示。
2.根据权利1所述的一种基于激光自准直的二维微角度测量装置，其特征在于所述的透镜4是短焦距透镜。
3.根据权利1所述的一种基于激光自准直的二维微角度测量装置，其特征在于所述的四象限光电探测器7采用微离焦法放置。
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