[发明专利]一种激光加热生长石墨烯的制作方法

权利要求书

1.一种激光加热制备石墨烯材料的方法，其特征在于：具体实施步骤为：

1)将衬底表面镀500nm镍膜退火处理，作为生长石墨烯的催化剂。将衬底放入石英管中，放置温度传感器可以实现对衬底温度的监测，开启激光器，调整激光光路和参数，使其光斑能够均匀对准衬底上选择的区域进行加热。

2)先将氩气通入密封的的石英管中，保持其流量为200sccm，以便排出石英管中的空气，保持30分钟后，将氢气以相同的流量通入密封的石英管中保持五分钟。

3)开启激光器对准选择生长的衬底区域进行加热，当温度传感器显示温度达到900℃，向密封石英管内通入甲烷(CH₄)气体作为反应前驱源，氢气作为反映的还原气体，流量均为100sccm，持续3-5分钟进行石墨烯生长。关闭激光器，去除光束，取出样品，自然冷却，得到大面积生长的石墨烯样品。

2.调节激光参数改变激光光斑面积，可以的得到和光斑面积相同的生长石墨烯材料的区域。

3.根据权利要求1所述的大面积单层石墨烯的制备方法，其特征在于调节了激光参数和光路，使激光光斑能够均匀的对准选择的衬底区域进行加热生长，可以连续选择不同的生长区域生长出大面积单层的石墨烯。

4.根据权利要求1所述的大面积单层石墨烯的制备方法，其特征在于采用了激光加热的方法对衬底进行选择生长区域加热，持续3-5分钟，关闭激光器，由于可以快速去除光束，不存在附加的受热区域，迅速降温，而减少不必要的多层石墨烯生长，可以制备出大面积的优质的石墨烯材料。