[发明专利]压电振动片、压电装置、以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种压电振动片、压电装置、以及应用了这些构件的电子设备。

背景技术

一直以来，压电振动片的振动臂部是以从基部延伸的方式而形成的。而且，为了防止在振动臂部与基部的结合部上产生应力集中，以使振动臂部的振动稳定，从而形成了锥体部(缩窄部)(例如，参照专利文献1以及2)。并且，公开有一种压电振动片，其振动臂部的臂宽被形成为，该臂宽从振动臂部起向基部逐渐地加宽(例如，参考专利文献3)。

在先技术文献

专利文献1：日本特开2005-5896号公报(5页～7页、图1～5)

专利文献2：日本特开2006-311090号公报(6页～7页、图3)

专利文献3：日本特开2009-27711号公报(5页～6页、图1)

但是，当在振动臂部与基部之间形成有锥体部(缩窄部)时，以及臂宽被形成为从振动臂部起向基部逐渐地加宽时，存在如下课题，即，振动臂部的振动在基部一侧产生振动泄漏，从而难以得到使振动臂部的振动稳定的压电振动片。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而实施的。其可以通过以下的方式或者应用例来实现。

[应用例1]本应用例所涉及的压电振动片的特征在于，具备：基部，其由压电材料形成；多个振动臂部，其从所述基部起经由附带臂的根部而延伸设置，其中，沿着所述振动臂部的长度方向设置有长槽部，并且，所述附带臂的根部具备，大于所述振动臂部臂宽、且小于多个所述振动臂部在所述振动臂部的宽度方向上的各自假想中心线之间的距离的臂宽。

根据该结构，由于具有附带臂的根部，该附带臂的根部具有，大于振动臂部臂宽、且小于多个所述振动臂部在所述振动臂部的宽度方向上的各自假想中心线之间的距离的臂宽，并且附带臂的根部具有一定长度的、大于振动臂部的臂宽的部分，从而能够使振动臂部具有刚性，所以防止了振动臂部的振动向基部一侧泄漏，从而能够使振动臂部的振动、以及压电振动片的振动频率稳定。

[应用例2]在上述应用例所涉及的压电振动片中，优选为，在所述附带臂的根部与所述振动臂部之间具有第1加宽部。

根据该结构，虽然由于附带臂的根部的臂宽与振动臂部的臂宽的不同，会产生因压电材料的蚀刻各向异性所导致的非对称性，但是通过将第1加宽部的臂宽从振动臂部的臂宽向附带臂的根部的臂宽逐渐地加宽，从而抑制了由于附带臂的根部的臂宽与振动臂部的臂宽的不同，而导致的因压电材料的各向异性所产生的蚀刻的非对称性。由此，能够使振动臂部与附带臂的根部之间，相对于振动方向(振幅方向)具有对称性。通过如此设置，能够在多个振动臂部之间维持平衡，从而能够使压电振动片的振动特性稳定。

[应用例3]在上述应用例所涉及的压电振动片中，优选为，在所述基部与所述附带臂的根部之间具有第2加宽部。

根据该结构，虽然在基部与附带臂的根部之间，会产生因压电材料的蚀刻各向异性所导致的非对称性，但是通过在基部与附带臂的根部之间，将第2加宽部的臂宽从附带臂的根部的臂宽起向基部逐渐地加宽，从而抑制因压电材料的各向异性而产生的蚀刻的非对称性。由此，能够使基部与附带臂的根部之间，相对于振动方向(振幅方向)具有对称性。通过如此设置，能够在多个振动臂部之间维持平衡，从而能够使压电振动片的振动特性稳定。

[应用例4]本应用例所涉及的压电装置的要点在于，具备：上述应用例中的任意一例所述的压电振动片；用于收纳所述压电振动片的外壳。

根据该结构，由于具备附带臂的根部，该附带臂的根部具有，大于振动臂部臂宽、且小于多个振动臂部之间的间隔的臂宽，并且附带臂的根部具有一定长度的、大于振动臂部的臂宽的部分，从而能够使振动臂部具有刚性，因此能够得到一种防止了振动臂部的振动向基部一侧发生泄漏，从而使振动臂部的振动以及压电振动片的振动频率稳定的压电装置。

[应用例5]本应用例所涉及的压电装置的要点在于，具备：上述应用例中的任意一例所述的压电振动片；与所述压电振动片电连接的驱动电路；用于收纳所述压电振动片以及所述驱动电路的外壳。

根据该结构，由于具备附带臂的根部，该附带臂的根部具有，大于振动臂部臂宽、且小于多个振动臂部之间的间隔的臂宽，并且附带臂的根部具有一定长度的、大于振动臂部的臂宽的部分，从而使振动臂部具备刚性，因此能够获得一种防止了振动臂部的振动向基部一侧发生泄漏，从而使振动臂部的振动以及压电振动片的振动频率稳定，并且通过收容驱动电路而实现小型化的压电振动片。

[应用例6]本应用例所涉及的电子设备的要点在于，具备：上述应用例中的任意一例所述的压电振动片。