[发明专利]NTC温度传感器芯片电极结构无效

专利信息
申请号: 201110071500.0 申请日: 2011-03-24
公开(公告)号: CN102692280A 公开(公告)日: 2012-09-26
发明(设计)人: 刘英 申请(专利权)人: 兴化市新兴电子有限公司
主分类号: G01K7/22 分类号: G01K7/22
代理公司: 泰州地益专利事务所 32108 代理人: 王楚云
地址: 225700 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: ntc 温度传感器 芯片 电极 结构
【权利要求书】:

1.NTC温度传感器芯片电极结构,包括芯片⑴和电极薄膜层⑵,其特征在于:所述的芯片⑴和电极薄膜层⑵之间还设置有过渡层⑶,所述的过渡层⑶为一层或两层。

2.根据权利要求1所述的NTC温度传感器芯片电极结构,其特征在于:所述的过渡层⑶为两层,所述的紧邻芯片⑴的过渡层⑶为铬薄膜层,所述的紧邻电极薄膜层⑵的过渡层⑶为铜薄膜层。

3.根据权利要求1或2所述的NTC温度传感器芯片电极结构,其特征在于:所述的一层或两层过渡层⑶和电极薄膜层⑵是将芯片⑴置于磁控溅射设备真空室中,采用质量纯度为99.99%的不同金属作为靶材,磁控溅射沉积而成。

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