[发明专利]NTC温度传感器芯片电极结构无效
申请号: | 201110071500.0 | 申请日: | 2011-03-24 |
公开(公告)号: | CN102692280A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 刘英 | 申请(专利权)人: | 兴化市新兴电子有限公司 |
主分类号: | G01K7/22 | 分类号: | G01K7/22 |
代理公司: | 泰州地益专利事务所 32108 | 代理人: | 王楚云 |
地址: | 225700 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | ntc 温度传感器 芯片 电极 结构 | ||
1.NTC温度传感器芯片电极结构,包括芯片⑴和电极薄膜层⑵,其特征在于:所述的芯片⑴和电极薄膜层⑵之间还设置有过渡层⑶,所述的过渡层⑶为一层或两层。
2.根据权利要求1所述的NTC温度传感器芯片电极结构,其特征在于:所述的过渡层⑶为两层,所述的紧邻芯片⑴的过渡层⑶为铬薄膜层,所述的紧邻电极薄膜层⑵的过渡层⑶为铜薄膜层。
3.根据权利要求1或2所述的NTC温度传感器芯片电极结构,其特征在于:所述的一层或两层过渡层⑶和电极薄膜层⑵是将芯片⑴置于磁控溅射设备真空室中,采用质量纯度为99.99%的不同金属作为靶材,磁控溅射沉积而成。
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