[发明专利]成膜设备

权利要求书

1.一种成膜设备，所述成膜设备在将长基膜在纵向方向上输送的同时进行成膜，所述成膜设备包括：

第一单元，所述第一单元具有真空室，在所述真空室中在所述基膜上进行成膜；

第二单元，所述第二单元具有用于输送所述基膜的输送系统；和

接合装置，所述接合装置将所述第一单元和第二单元导电地接合，

其中所述第一单元和所述第二单元通过将它们组合在一起而构造，并且在成膜过程中，在所述第一单元和第二单元之间没有产生电位差。

2.根据权利要求1所述的成膜设备，其中所述第二单元具有圆筒形转鼓，并且在将所述基膜卷绕在所述转鼓的圆周表面上而将其在纵向方向上输送的同时，在所述基膜上进行成膜。

3.根据权利要求2所述的成膜设备，其中所述接合装置包括间壁，所述间壁将成膜区域与所述真空室中除了所述成膜区域以外的区域分隔。

4.根据权利要求3所述的成膜设备，其中所述第二单元具有包围所述转鼓的框架，并且所述接合装置包括所述框架。

5.根据权利要求4所述的成膜设备，其中所述间壁被设置在所述第一单元中，并且当所述第一单元和所述第二单元已经组合时，所述框架和所述间壁彼此接触。

6.根据权利要求1所述的成膜设备，其中所述接合装置具有弹性。

7.根据权利要求1所述的成膜设备，其中所述第一单元具有结合在所述真空室中用于等离子体产生的电极。

8.根据权利要求7所述的成膜设备，其中所述第二单元具有圆筒形转鼓，所述转鼓用于输送卷绕在所述转鼓的圆周表面上的所述基膜，并且由所述转鼓和所述用于等离子体产生的电极构造电极对。

9.根据权利要求1所述的成膜设备，其中所述第一单元和所述第二单元中的至少一个单元具有用于移动的轮子。

10.根据权利要求1所述的成膜设备，其中从通过将所述长基膜卷绕成卷获得的基膜卷输送所述基膜，并且将其上已经完成成膜的所述基膜卷绕成卷。