[发明专利]一种基于多波长的对准系统及对准方法有效
申请号: | 201110074451.6 | 申请日: | 2011-03-25 |
公开(公告)号: | CN102692822A | 公开(公告)日: | 2012-09-26 |
发明(设计)人: | 韩悦 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 波长 对准 系统 方法 | ||
1.一种基于多波长的对准系统,包括:提供至少两个波长的对准辐射源,光学单元,对准标记、探测单元及处理单元,其特征在于,所述处理单元获得所述标记在不同辐射源照射下的全部级次信号,设定粗捕获及精捕获范围后对所述全部级次信号进行对准级次的权重设置,并计算参与对准位置计算的级次权重;根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围,计算对准位置。
2.如权利要求1所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述对准标记包括双周期标记或三周期标记。
3.如权利要求1所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述对准辐射源包括红光激光光源与绿光激光光源。
4.如权利要求1所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述粗捕获范围指在较大范围内的对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的一级光源信息进行对准。
5.如权利要求1所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。
6.如权利要求1所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述权重设置为静态权重设置。
7.如权利要求6所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述静态权重设置包括设置需要选用的级次和一定的信号强度阈值范围,并对各级次设定计算权重,检查各级次的实际信号强度是否满足设定阈值的要求,如达标确认通过,该级次权重有效;如果达标个数小于所设定的选用个数,则进入冗错和非冗错两种机制。
8.如权利要求7所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述进入冗错机制后进一步包括判断是否属于粗捕获范围或精捕获范围。
9.如权利要求8所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述粗捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零,如为零,则停止冗错处理;检查捕获所需的不同周期的一级次光是否可用,如不可用,则停止冗错处理;满足上述条件后,放弃掉先前选择的但未通过验证的级次;检查剩余级次权重设置,重新计算各级次权重比例。
10.如权利要求9所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述粗捕获范围下的处理进一步包括:如各周期获得的高级次不具备权重值,则将各周期的一级光权重设置为1,计算对准位置。
11.如权利要求8所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述精捕获范围下检查通过验证的级次数目是否为零,如为零,则停止冗错处理;满足上述条件后,放弃掉先前选择的但未通过验证的级次;检查剩余级次权重设置,重新计算各级次权重比例。
12.如权利要求11所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述精捕获范围下的处理进一步包括:如各周期获得的高级次不具备权重值,则将各周期的一级光权重设置为1,计算对准位置。
13.如权利要求7所述的基于多波长的对准系统,其特征在于,所述进入非冗错机制后,如所选参与对准的级次信号强度并未全部确认有效停止此次对准,宣布对准失败。
14.一种基于多波长的对准方法,其特征在于,获得对准标记在不同辐射源照射下的全部级次信号,设定粗捕获及精捕获范围后对所述全部级次信号进行对准级次的权重设置,并计算参与对准位置计算的级次权重;根据权重设置、颜色选择设置及设定的粗捕获及精捕获范围,计算对准位置。
15.一种如权利要求14所述的基于多波长的对准方法,其特征在于,所述对准标记包括双周期标记或三周期标记。
16.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法,其特征在于,所述对准辐射源包括红光激光光源与绿光激光光源。
17.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法,其特征在于,所述粗捕获范围指在较大范围内对准位置需要使用同一标记两个不同周期尺寸的一级光源信息进行对准。
18.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法,其特征在于,所述精捕获范围指在较小范围内使用同一标记的同一周期的任意级次反射光源信息进行对准。
19.如权利要求14所述的基于多波长的对准方法,其特征在于,所述权重设置为静态权重设置。
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