[发明专利]可调谐宽带相位自补偿延迟器

权利要求书

1.一种可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于包括第一光学调整架(1)、第二光学调整架(2)、第一宽带相位延迟片(4)、第二宽带相位延迟片(3)和调节平台，所述的调节平台由第一步进电机(5)、第二步进电机(6)、固定底板(7)和转动台(8)组成，所述转动台(8)固定在所述的固定底板(7)上，所述的固定底板(7)上设有主步进电机(10)，所述的转动台(8)由主步进电机(10)驱动，所述的第一宽带相位延迟片(4)和第二宽带相位延迟片(3)分别贴设在所述的第一光学调整架(1)和第二光学调整架(2)的镜框内，所述的第一光学调整架(1)和第二光学调整架(2)分别通过所述的第一步进电机(5)和第二步进电机(6)垂直地固定在所述的转动台(8)上。

2.根据权利要求1所述的可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于，所述的固定底板(7)上还设有手轮(9)，所述的转动台(8)的周边刻有角度线，该固定底板(7)与转动台(8)接触的壁上刻有与所述的转动台(8)的周边角度线相应的对准线，所述的旋转台(8)的转动范围是360度。

3.根据权利要求1所述的可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于，所述的第一宽带相位延迟片(4)和第二宽带相位延迟片(3)是一种具有相同光学性能的金属介质组合膜，在宽波段内具有很高的反射率和稳定的相位延迟，相位延迟随光束的入射角线性变化。

4.根据权利要求3所述的可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于，所述的第一宽带相位延迟片(4)和第二宽带相位延迟片(3)的形状为长方形或圆形。

5.根据权利要求1所述的可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于，所述的第一宽带相位延迟片(4)和第二宽带相位延迟片(3)是金属与介质组合反射式宽带相位延迟膜。

6.根据权利要求5所述的可调谐宽带相位自补偿延迟器，其特征在于，所述的金属与介质组合反射式宽带相位延迟膜包括：

(Ⅰ)对于实现宽带-45°相位延迟膜片，其膜系为：M 0.7463A 0.9465(HL)^31.193(2H)^1 0.883(HL)^5 0.8287(HL)^2 0.7883(H2L)^1；

(Ⅱ)对于实现宽带-90°相位延迟膜片，其膜系为：M 0.8A 2.26H 0.953(HL)^40.844(HL)^3 0.807(H2L)^1，

其中：M为Ag膜，厚度为100nm，折射率为0.234-7.214i(1064nm)，H为四分之一控制波长厚度的Ta₂O₅，折射率为2.04(1064nm)，L为四分之一控制波长厚度的SiO₂，折射率为1.45(1064nm)，A为四分之一控制波长厚度的Al₂O₃，折射率为1.588(1064nm)，控制波长为1064nm。