[发明专利]固态摄像装置及其制造方法、电子设备和相机模块

权利要求书

1.一种固态摄像装置，包括：

光电转换部；

电荷接收部，从所述光电转换部向其传送电荷；以及

光控制膜，在所述光电转换部的上方并具有倒锥形开口，以减小扩散到除所述光电转换部之外的区域的衍射光的强度。

2.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，所述光控制膜包括遮光膜。

3.根据权利要求1所述的固态摄像装置，还包括：光波导，在所述光电转换部的上方，其中，所述光控制膜设置在所述光波导的下端处。

4.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，所述倒锥形开口具有包括多个阶梯的形状。

5.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，对于与通过滤色器分离的各种颜色成分相对应的多个像素的每一个设置所述倒锥形开口，并且所述倒锥形开口根据颜色成分而具有不同的倒锥角。

6.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，所述倒锥形开口的下端的面积小于所述光电转换部的面积。

7.一种固态摄像装置的制造方法，包括以下步骤：

在半导体基板中形成光电转换部和电荷接收部，其中从所述光电转换部向所述电荷接收部传送电荷；以及

形成光控制膜，所述光控制膜在所述光电转换部的上方并具有倒锥形开口，以减小扩散到除所述光电转换部之外的区域的衍射光的强度。

8.根据权利要求7所述的固态摄像装置的制造方法，其中，所述光控制膜由遮光材料形成。

9.根据权利要求7所述的固态摄像装置的制造方法，还包括在所述光电转换部的上方形成光波导的步骤。

10.根据权利要求7所述的固态摄像装置的制造方法，其中，形成所述光控制膜的步骤包括以下子步骤：形成要用作所述光控制膜并具有蚀刻特性的第一材料层；在所述第一材料层的表面上形成具有不同于所述第一材料层的蚀刻特性的第二材料层；通过各向异性地蚀刻所述第二材料层的整个厚度和所述第一材料层的一定深度而形成开口；以及将所述第二材料层用作掩模通过各向同性蚀刻在所述第一材料层中形成倒锥形开口。

11.根据权利要求7所述的固态摄像装置的制造方法，其中，形成所述光控制膜的步骤包括以下子步骤：以宽度不同的多个开口限定所述倒锥形开口的方式形成多个层，其中，每一层都具有宽度彼此不同的一个开口。

12.根据权利要求7所述的固态摄像装置的制造方法，其中，以对于与通过滤色器分离的各个颜色成分相对应的多个像素的每一个形成开口并且所述开口根据颜色成分具有不同的倒锥角的方式，执行形成所述光控制膜的步骤。

13.一种电子设备，包括：

根据权利要求1所述的固态摄像装置；

光学系统，将入射光引导至所述固态摄像装置的光电转换部；以及

信号处理电路，处理从所述固态摄像装置输出的信号。

14.一种相机模块，包括：

根据权利要求1所述的固态摄像装置；

光学系统，将入射光引导至所述固态摄像装置的光电转换部；以及

信号处理电路，处理从所述固态摄像装置输出的信号。

15.一种固态摄像装置，包括：

光电转换部，根据所入射的光生成电荷；以及

遮光膜，在所述光电转换部的上方并且具有开口，所述开口在所述遮光膜的光入射侧的面积比另一侧的面积小。