[发明专利]真空度节气调节系统

权利要求书

1.真空度节气调节系统，它包括若干级增压泵、两级喷射泵、两级辅助喷射泵和三个冷凝器，其特征是：若干级增压泵依次连通，最后一级增压泵与第一冷凝器（3）直接连通，第一冷凝器（3）通过第一喷射泵（6）和第二冷凝器（4）一个端口连通，第一冷凝器（3）通过第一辅助喷射泵（8）和第二冷凝器（4）另一个端口连通，第二冷凝器（4）通过第二喷射泵（7）与第三冷凝器（5）的一个端口连通，第二冷凝器（4）通过第二辅助喷射泵与第三冷凝器（5）另一端口连通；第一喷射泵（6）和第一辅助喷射泵（8）喷嘴（13）处全部或部分安装真空度节气调节装置（10）；第二增压泵（2）或第三增压泵（17）的喷嘴（13）处安装真空度节气调节装置（10）。

2.根据权利要求1中所述的真空度节气调节系统，其特征是：所述的第一喷射泵（6）和第一辅助喷射泵（8）喷嘴（13）处全部或部分安装真空度节气调节装置（10）。

3.根据权利要求1中所述的真空度节气调节系统，其特征是：所述的第二增压泵（2）、第三增压泵（17）的喷嘴（13）处安装真空度节气调节装置（10）。

4.根据权利要求1中所述的真空度节气调节系统，其特征是：所述的真空度节气调节装置（10）包括气动薄膜执行机构（11）、调节针（12）、定位器（15）和密封圈（16），调节针（12）尾部与气动薄膜执行机构（11）固定连接，并设置有密封圈（16），将调节针（12）与大气隔绝，形成密封系统；定位器（15）连入主控制系统，根据实际真空度的大小通过定位器（15）的电信号调节气动薄膜执行机构(11)的动作；定位器（15）接收电流电信号为4-20mA，经PID控制气动薄膜执行机构（11），并带动调节针（12）运动；调节针（12）的针头插入喷嘴（13）喉口，通过调节针（12）上下运动，调整喷嘴（13）喉口直径，使工作蒸汽量减小，相应被抽气体的量也减小，使处理时真空室内的真空度上升，达到并稳定在设定的数值。

5.根据权利要求1中所述的真空度节气调节系统，其特征是：所述的真空度节气调节装置中，定位器经PID控制气动薄膜执行机构，并带动调节针运动。