[发明专利]太阳能硅片安全自动移动机构无效
申请号: | 201110074911.5 | 申请日: | 2011-03-28 |
公开(公告)号: | CN102176495A | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 翟骥;钱刚祥;陈力 | 申请(专利权)人: | 无锡荣兴科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214028 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 安全 自动 移动 机构 | ||
1. 太阳能硅片安全自动移动机构,其特征在于:包括直线电机(1)、气缸座(2)、气缸(4)和硅片托盘组件(5),气缸座(2)安装在直线电机(1)的滑块上,气缸(4)固定在气缸座(2)上,硅片托盘组件(5)安装在气缸(4)的活塞杆上,硅片托盘组件(5)通过气缸(4)驱动升降运动,硅片托盘组件(5)通过直线电机(1)驱动水平纵向运动。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片安全自动移动机构,其特征在于:所述气缸座(2)上设置有两根竖直的导柱(3),所述硅片托盘组件(5)上开设有两个与导柱(3)相对应的导向孔(9),导柱(3)与导向孔(9)形成滑动配合,以导正硅片托盘组件(5)的升降移动。
3.如权利要求1所述的太阳能硅片安全自动移动机构,其特征在于:所述硅片托盘组件(5)包括托板(8)、弹簧片(16)、弹簧压板(17)、前横梁(15)、后横梁(11)、真空吸盘(14)和连接板(13),托板(8)的后部安装在气缸(4)的活塞杆上,前横梁(15)和后横梁(11)分别通过弹簧片(16)支撑在托板(8)上;前横梁(15)和后横梁(11)之间通过连接板(13)连接,以使它们可同步运动;在前横梁(15)和后横梁(11)的两端各装两个用于吸取硅片(6)的真空吸盘(14)。
4.如权利要求3所述的太阳能硅片安全自动移动机构,其特征在于:所述托板(8)上安装有限位块(12),限位块(12)上部开设有横向槽和纵向槽;所述横向槽卡在后横梁(11)上,用于限制前后横梁前后位置的过度偏移;所述纵向槽卡在连接板(13)上,用于限制前后横梁左右位置的过度偏移。
5.如权利要求3所述的太阳能硅片安全自动移动机构,其特征在于:所述托板(8)上安装有光电传感器(10),所述连接板(13)上开有感应孔,感应孔正对着光电传感器(10)的感应位置,感应孔偏移光电传感器(10)的感应位置时,设备报警并停止运行。
6.如权利要求3所述的太阳能硅片安全自动移动机构,其特征在于:所述弹簧片(16)下端通过弹簧压板(17)固定在托板(8)上,弹簧片(16)上端通过弹簧压板(17)固定在前横梁(15)、后横梁(11)上,弹簧压板(17)、托板(8)、前横梁(15)、后横梁(11)上均设置有用于降低弹簧片(16)弯曲时集中应力的倒角(18)。
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