[发明专利]一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构无效
申请号: | 201110075671.0 | 申请日: | 2011-03-28 |
公开(公告)号: | CN102226716A | 公开(公告)日: | 2011-10-26 |
发明(设计)人: | 巴音贺希格;何淼;崔继承;陈今涌 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阶梯 光栅 光谱仪 结构 | ||
技术领域
本发明属于光谱技术领域,涉及一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构。
背景技术
光谱仪器是广泛应用在科研、工业生产等领域的重要分析测试仪器。适应更高分辨率、更宽谱段范围、全谱直读的应用要求,是光谱分析仪器的发展方向。中阶梯光栅光谱仪采用高色散、高分辨率、全波闪耀的中阶梯光栅作为主要分光元件,分辨能力高于常规的光谱仪20倍以上,且具有体积小、全谱瞬态直读的优点,属于高端的光谱分析仪器。目前仅有少数发达国家进行了此类仪器的开发,PI、LEEMAN、Andor等公司推出了第一代商品化仪器。2004年德国耶拿公司推出的连续光源原子吸收中阶梯光栅光谱仪contrAA,对原子吸收光谱仪器的发展具有划时代意义。但其采用传统的扫描记录方式,分光光路系统由中阶梯光栅、探测器以及扫描机构组成,因此,该光谱分析仪器体积相对较大,不能实现全谱直读。
发明内容
本发明的目的是提供一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构,其采用中阶梯光栅作为主要分光元件,利用棱镜产生垂直于主色散方向的交叉色散,实现高分辨率、宽谱段范围、全谱直读的光谱分析。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种中阶梯光栅光谱仪的光路结构,包括聚光镜、入射针孔、抛物准直镜、中阶梯光栅、交叉色散棱镜组、抛物聚焦镜和探测器,聚光镜置于光路的最前端,收集到的光会聚到入射针孔处;在聚光镜和入射针孔形成的入射光线方向上,放置抛物准直镜,抛物准直镜的中心与聚光镜及入射针孔的中心位置等高;在反射光的方向上,放置中阶梯光栅,中阶梯光栅的中心高度为反射光的光轴高度;交叉色散棱镜组放置于由中阶梯光栅出射的反射光方向上;经交叉色散棱镜组反射的光由抛物聚焦镜反射,最后聚焦到探测器上。
本发明的工作原理是:待测光由聚光镜收集,聚焦到入射针孔处,经入射针孔透射后,入射光线照射在抛物准直镜上形成平行光束,由抛物准直镜反射的平行光束投射到中阶梯光栅上,经中阶梯光栅衍射形成色散光束,此色散方向即光路的主色散方向,由于中阶梯光栅使用在较高的衍射级次和较大的衍射角度,色散光的不同衍射级次彼此重叠;之后通过交叉色散棱镜组反射,光束在垂直主色散方向上产生色散,使不同的衍射级次从交叉色散棱镜组出射角度不同,形成二维交叉色散光束;此光束经抛物聚焦镜反射,成像到探测器的靶面上,从而得到待测光的二维色散谱图。谱图中主色散方向为中阶梯光栅的色散方向,与衍射级次分开的方向垂直,单一波长的光谱会聚焦到谱图上一点,因此,通过面阵探测器接收的二维光谱图像中的谱线分布可以分析得到待测光包含的光谱信息。采用两种不同材棱镜组合作为交叉色散元件,可以解决单棱镜在600nm以上波段色散量过小导致分辨率下降的问题,使仪器在整个光谱范围内色散相对均匀,工作的谱段范围更宽。
本发明的积极效果是:实现了高分辨率、宽谱段范围、全谱瞬态直读的光谱分析。由于主色散元件中阶梯光栅工作在高衍射级次、大衍射角度,其色散能力比一般的衍射光栅高七倍以上;采用棱镜作为交叉色散元件,能够解决光栅衍射级次间彼此重叠的问题;二维色散光谱图像通过面阵探测器接收,在宽谱段范围内无需扫描,可实现多光谱瞬态直读。本发明结构简单可靠,无移动部件,操作容易,能很好地应用于中阶梯光栅光谱仪系统中。
附图说明
图1是本发明中阶梯光栅光谱仪的光路结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1所示,本发明中阶梯光栅光谱仪的光路结构包括聚光镜1、入射针孔2、抛物准直镜3、中阶梯光栅4、交叉色散棱镜组5、抛物聚焦镜6和探测器7;聚光镜1置于光路的最前端,收集到的光会聚到入射针孔2处;在聚光镜1和入射针孔2形成的入射光线方向上,放置抛物准直镜3,中心与聚光镜1及入射针孔2中心位置等高;在聚光镜1和入射针孔2形成的反射光方向上,放置中阶梯光栅4,中心高度为反射光的光轴高度;交叉色散棱镜组5放置于由中阶梯光栅4出射的反射光方向上;经交叉色散棱镜组5反射的光由抛物聚焦镜6反射后聚焦到探测器7上。
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